传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
概述
为了简化制造和操作、降低成本以及减小系统尺寸和重量,优选被动Q开关。Cr~(4+):YAG是二极管被动调Q泵浦或灯泵Nd:YAG、Nd:YLF、Yb:YAG或其他掺Nd和Yb的1.0-1.2μm激光器的优良晶体。
参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : Cr:YAG
- 水晶直径 / Crystal Diameter: : 12mm
- 水晶长度 / Crystal Length: : 30mm
- AR 涂层 / AR Coating: : One side, Both sides
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