传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
Yb CALGO激光晶体概述
用于高功率和超短(飞秒)激光的Yb:CaGdAlO4(Yb:CaMgO)-Yb掺杂晶体Yb掺杂的CaGdAlO4晶体(Yb:CaMgO)在产生高功率超短激光脉冲方面表现出优异的性能。它具有宽而平滑的发射带宽,可以产生非常短的脉冲(<100fs)。此外,其高热导率使其能够保持高功率泵浦(2at.%Yb:Calgo热导率沿a和c轴分别为6.9和6.3Wk-1m-1);已经演示了极短脉冲和高平均功率飞秒振荡器的产生。Yb3+:CaGdAlO4较近被证明对于发展二极管泵浦的短脉冲锁模激光器非常有意义。与钛宝石晶体(自90年代初以来,使用啁啾脉冲放大技术开发产生非常短和强大脉冲的超短激光系统的选择)相比,Yb:CaLGO可以由非常高效和高功率的半导体激光器直接泵浦。(绿色激光泵浦的钛宝石晶体)。
Yb CALGO激光晶体参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : TeO2
- 水晶直径 / Crystal Diameter: : 5mm
- 水晶长度 / Crystal Length: : 15mm
- AR 涂层 / AR Coating: : One side
Yb CALGO激光晶体图片集
Yb CALGO激光晶体规格书
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