光电查为您提供9个产品。下载资料，获取报价，实现功能、价格及供应的优化选择。
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EQ-10紧凑型EUV光源
中心波长: 13.5nm 频谱带宽: .27nm 紫外输出功率: 10WEQ-10是一款紧凑、易于使用、可靠且具有成本效益的光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-pinch™技术。EQ-10 EUV光源特别适合计量和研究应用。EQ-10凭借其经过验证的可靠性、易用性和低运营成本，已成为EUV社区的主力EUV来源。Energetiq EQ-10 EUV光源的模块化设计使其可以集成到加工工具中。该系统包括无电极Z箍缩源组件、真空和气体子系统、功率传输子系统和控制电子设备。EQ-10能够将高达10瓦的带内EUV转换为2π球面度，并将以高达2 kHz的脉冲重复率连续运行。
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EQ-10HP 高功率 EUV 光源
紫外输出功率: 20WEQ-10HP是一款紧凑、易于使用、可靠且经济高效的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-pinch™技术。EQ-10HP EUV光源特别适合计量和研究应用。EQ-10系列光源凭借其经过验证的可靠性、易用性和低运行成本，已成为EUV社区的主力EUV光源。EQ-10HP建立在Energetiq的EQ-10产品的技术和跟踪记录之上。EQ-10HP的输入功率比前代产品高得多，输出功率是EUV的两倍，亮度也高得多，适用于EUV掩模检测等成像应用。
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EQ-400 LDLS 宽带激光驱动的光源
频谱输出: 170 - 2100 nm 数值孔径: 0.50 典型灯泡寿命: >9000 hrs基于非常成功的激光驱动光源（LDLS™）技术，EQ-400在真正的宽带白光光源中提供了较高的辐射率和辐射率。EQ-400采用紧凑的灯箱，结构简洁，确保使用寿命长和较终稳定性。EQ-400的波长范围为170nm-2100nm，可选择光源双光束输出或带回复反射器的单光束输出，适用于各种应用。
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EQ-77 宽带激光驱动源
频谱输出: 170 - 2100 nm 典型灯泡寿命: >9000 hrs基于非常成功的激光驱动光源（LDLS）技术，EQ-77在真正的宽带白光源中提供较高的辐射率和辐照度。EQ-77采用紧凑的灯箱，结构简洁，确保使用寿命长和较终的稳定性。EQ-77具有170nm-2100nm的波长范围和带回复反射器的单光束输出，可灵活用于各种应用。
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EQ-99CAL LDLS 宽带高亮度校准源
频谱输出: 200 - 800 nm 数值孔径: 0.47 典型灯泡寿命: >9000 hrs用于辐射定标的传统定标源，如氘、石英、钨卤和氙弧，在光谱范围上都有限制。没有一种光源能覆盖200nm-800nm整个紫外-可见光范围，且在整个光谱范围内的输出水平相当。此外，传统光源在使用100小时或更短时间后需要重新校准，通常在使用500小时后需要更换灯泡。凭借其革命性的Laser-Driven Light Source™（LDLS），EnergetiQ提供了一种校准解决方案，解决了这些限制，并为辐射校准提供了单一、宽带、高亮度光源。EQ-99CAL将辐射性能与长寿命、更长的重新校准间隔和低拥有成本相结合。在350nm范围内进行的校准对于氘灯和石英卤钨灯尤其具有挑战性。在350nm的氘灯情况下，辐照度大约比其在200nm深紫外线中的值类似地，350nm的石英卤钨灯的辐照度比其在可见光范围内的辐照度低一个数量级以上。此外，使两个单独校准的灯在重叠的波长上一致经常是有问题的，这增加了额外的不确定性。对于LDLS，单个校准光源覆盖了从200nm到800nm的整个范围，并且在350nm处表现出比传统校准的氘灯和石英卤钨灯高一个数量级的辐照度。
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EQ-99X LDLS 宽带激光驱动的光源
频谱输出: 170 - 2100 nm 数值孔径: 0.47 典型灯泡寿命: >9000 hrs生命科学和材料科学中的先进成像和分析光谱学应用需要能够在宽波长范围内提供极高亮度的光源。传统上，使用多个灯（钨/卤素、氙弧、氘）来覆盖该宽光谱范围。然而，组合多个灯成本高且光学效率低，并且在灯内使用电极限制了它们实现较苛刻应用所需的高亮度或功率的能力。此外，传统的电极驱动光源寿命短，需要频繁更换，并且在其寿命期间灯的输出不断下降。为了解决这些问题，Energetiq开发了一种革命性的单光源技术，称为LDLS™激光驱动光源，可实现极高的亮度和相对平坦的光谱，从170nm到可见光到近红外，寿命比传统灯泡长一个数量级。LDLS技术充分体现在紧凑型EQ-99X中，这是一种高亮度、高稳定性的宽带光源，专为要求苛刻的成像和光谱应用而设计。Energetiq EQ-99x具有出色的空间和功率稳定性，可在宽光谱范围内进行高度可重复的测量。EQ-99X采用专利激光驱动灯泡技术和超净结构，非常适合需要超长灯泡寿命和高宽带亮度的应用。•UV-VIS-NIR光谱•单色器光源•薄膜测量•光学元件测试•环境分析•材料特性•气相测量•先进的成像/照明•需要较长灯泡寿命的应用
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EQ-99XFC激光驱动光源
频谱输出: 170 - 2100 nm 数值孔径: .22 典型灯泡寿命: >9000 hrsEnergetiq开发了一种革命性的单光源技术，称为LDLS™激光驱动光源，可实现极高的亮度和相对平坦的光谱，从深紫外到可见光再到近红外，其使用寿命比传统灯长一个数量级。LDLS EQ-99xFC集成了收集光学器件，为需要光纤连接的用户提供了更大的易用性。高性能椭球收集器确保在从190nm到2100nm的宽光谱范围内保持超高亮度光和功率稳定性，并高效耦合到小直径光纤中。专有的光纤保护技术增强了DUV性能，并通过减少日晒效应显著延长了光纤寿命。EQ-99xFC采用专利激光驱动灯泡技术*和超净结构，非常适合需要超长灯泡寿命和高宽带亮度的应用。
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LDTLS 激光驱动的可调谐光源
频谱输出: 300 - 1100 nm 数值孔径: 0.39 典型灯泡寿命: >9000 hrs激光驱动可调光源（LDTLS™）是一款紧凑、完全集成且高度稳定的可调宽带光源，基于我们的ProvenLaser-Driven Light Source（LDLS™）技术。LDTLS™采用我们的EQ-77 LDLS™宽带光源，具有可调宽带光源中较高的亮度和输出通量。LDTLS™在更换灯泡之间提供约9000小时的极长使用寿命，从而降低拥有成本。它具有高稳定性、极低的噪声，并配有精密高性能单色仪，可在300nm-1100nm范围内进行精确的波长选择和可重复的光输出。
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EQ-10HR 高重复率 EUV 光源
中心波长: 13.5nm 频谱带宽: 0.27nm 紫外输出功率: 20WEQ-10HR是一款紧凑、易于使用、可靠且具有成本效益的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的成熟无电极Z-pinch™技术。EQ-10HR高重复率EUV光源特别适用于需要模拟大批量制造（HVM）的计量和研究应用。EnergetiQ EQ-10HR EUV光源是一个独立系统，可随时集成到工艺工具中。它包括无电极Z箍缩源组件、磁悬浮真空泵子系统、气体输送子系统、功率输送子系统和控制电子设备。