干涉仪-稳定性测量设备-光电专业解决方案-光电查

费佐干涉仪（Verifire Fizeau）

美国

分类：干涉仪

厂家：Zemetrics

Zygo的VeriFire™干涉仪系统可对普莱诺或球面以及光学系统和组件的透射波前进行快速高精度测量。测量玻璃或塑料光学元件（如平面、透镜和棱镜），甚至精密加工的金属和陶瓷表面。VeriFire™系统采用真正的激光斐索设计，扩展了Zygo在表面形状计量方面无与伦比的经验。轴上配置与Zygo的专利采集算法和全功能MX™计量软件相结合，可实现具有高级分析功能的高精度表面形状计量。

光纤尾纤自由空间干涉仪 (MZI-001)

美国

分类：干涉仪

厂家：Luna Innovations

中心波长范围: 1060, 1310, 1550nm 波长范围: ±70nm 自由光谱范围: 10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 100GHz, user selectable 自由光谱范围容差: 2% 探测器响应度: >0.8A/W

MZI-001是一款基于自由空间光学的光纤尾纤紧凑型马赫-曾德尔干涉仪，用于检测光频率的变化。该设备配备快速光电探测器，用于平衡检测干涉仪的两个互补输出。其自由光谱范围（FSR）或零交叉间隔定义为2%，在全带宽范围内具有清晰的优势。此外，FSR可以从10GHz选择到高达100GHz的宽范围，便于系统集成。MZI-001的自由空间光学设计消除了与全光纤干涉仪相关的偏振灵敏度，适用于波长扫描光源、光纤光学传感器、测试与测量、频谱分析以及相干检测系统。

VT1000 DL干涉仪工作站

德国

分类：干涉仪

厂家：XONOX Technology GmbH

工作范围: 最小1000mm行程，测试直径最大250mm（取决于使用的TS和零件夹具）测量系统: 增量式高精度线性测量系统测量精度: 最高可达±0.7μm每800mm，最高可达1纳米分辨率尺寸: 1200x900x2800mm 重量: 根据配置不同，重量可达1000kg

VT 1000 DL是一款垂直向下观察的干涉仪系统，专为光学元件的全孔径测试、质量检测以及计量实验室环境设计。

X-fiz Fizeau干涉仪

德国

分类：干涉仪

厂家：XONOX Technology GmbH

激光源波长: 632.8nm 激光类型: HeNe Laser 激光类型: polarized 激光类型: class IIIA 激光输出功率: 3R/2mW

X-fiz是一款高质量的菲涅耳干涉仪，配备高分辨率1.3MP相机，支持远程控制和电动变焦，具有10倍光学放大功能。

VT750和VT1200干涉仪工作站

德国

分类：干涉仪

厂家：XONOX Technology GmbH

工作范围: 1200mm travel (1400mm linear scale range), up to 200mm test diameter 测量精度: Up to +/-0.7μm per 500mm, up to 1 nanometer resolution 尺寸: 800x900x2650mm 重量: 约650kg 连接: 110-240V/50-60Hz, compressed air: 6bar

VT 1200是一款高精度垂直干涉仪系统，专为生产、质量检测和计量实验室设计，具有卓越的测量范围和精度，适用于工业生产环境。

Verifire高清干涉仪系统

美国

分类：干涉仪

厂家：Zemetrics

Zygo的VeriFire™HD干涉仪系统提供平面或球面的快速高分辨率测量，以及光学元件和组件的透射波前测量。干涉腔长度被精确调制，同时高速相机捕捉多个条纹图像，这些图像由软件进行分析，以创建被测零件的高度详细的测量结果。

Verifire HDX干涉仪用于精确的中间空间频率特性分析

美国

分类：干涉仪

厂家：Zemetrics

Zygo的新型VeriFire HDX干涉仪专为极高性能光学元件和系统的中间空间频率成分表征而设计和制造。该系统包括广受欢迎的VeriFire HD的所有强大功能（如QPSI和长寿命稳定激光器），并增加了重要的增强功能，如新的同类较佳成像和高仪器传递函数（ITF）分辨率、中间空间频率内容和高斜率表面偏差的卓越特性，以及Zygo的DynaPhase®动态采集技术（可选），该技术可消除振动引起的问题，并在几乎任何环境中实现精密计量。

TMS-500 TopMap Pro.Surf精密零件表面特性分析系统

德国

分类：干涉仪

厂家：Polytec GmbH

定位体积: 200×200×70mm=0.028m³ 单次测量点数最大值: X:1592,Y:1200,X×Y:1910400 测量区域(小): X:22.8mm,Y:17.2mm,X×Y:392.2mm² 测量区域(大): X:44.9mm,Y:33.8mm,X×Y:1517.6mm² 工作距离: 13±3mm

高精度非接触式光学表面测量系统，适用于精密零件的表面表征，提供大视场和快速高效的测量能力。

传输球体

德国

分类：干涉仪

厂家：XONOX Technology GmbH

光圈角度: 91.4°/79.2°/51.1°/41.6°/35.3°/33.7°/31.2°/30.0° 光圈直径: 69.7/79.0/102.0/117.5/126.0/126.3/126.3/126.3 参考表面半径: -48.68/-65.26/-102.21/-167.1/-291.4/-510.66/-804.90/-1164.5/+750.0/flat 外壳直径: 158 外壳高度: 82.7/58.5/45.5/58.5/45.5

5.2英寸菲涅耳透射球，用于4英寸干涉仪，提供扩展测量范围。

TMS-350L TopMap In.Line快速表面特征分析设置

德国

分类：干涉仪

厂家：Polytec GmbH

定位体积: 200×200×0.25mm=0.00001m³ 单次测量最大点数: X:648,Y:488,X×Y:316224 最大测量点数: X:5116,Y:5116,X×Y:26173456 测量面积: Ø21mm (excluding top and bottom), X:13.68mm,Y:10.31mm,X×Y:141.0mm² 工作距离: 40±1mm

TopMap In.Line是一款紧凑型光学表面测量设备，专为生产线中的快速表面表征而设计。它采用白光干涉技术，无需接触即可可靠地测量平面度、波纹度等形状偏差，且测量周期短。

TMS-150 TopMap Metro.Lab白光干涉仪

德国

分类：干涉仪

厂家：Polytec GmbH

定位体积: 87x78x70mm=0.00048m³ 单次测量最大点数: X:1284,Y:966,X×Y:1240344 最大测量点数: X:2969,Y:2662,X×Y:7903478 测量面积: X:37mm,Y:28mm,X×Y:1036mm² 工作距离: 2.5(-2.5/+5)mm

TopMap Metro.Lab是一款高精度白光干涉仪，具有大垂直测量范围、大视场和纳米级分辨率。该紧凑型3D工作站能够轻松测量平面度、台阶高度和大表面结构的平行度，适用于软性和精密材料。

用于缝合的QED Inteferometer QIS

美国

分类：干涉仪

厂家：QED Technologies Inc

QIS干涉仪完全由QED技术公司设计、制造和建造。它针对拼接进行了优化，使客户能够测量更多零件，并提高了精度、速度和易用性。QED的QIS集成了硬件和软件功能，旨在增强QED计量产品的性能。专有的QIS相干成像系统允许用户获得更高的条纹密度和更大的对比度。QIS先进的光学设计减少了常见的误差，如回扫和放大误差。此外，QIS提供的更大的焦点行程允许测量比通用干涉仪更短半径的零件。QIS也使用与QED的Q-Flex™MRF™系统相同的软件平台QED.NET进行设计。这使得系统之间的无缝通信成为可能。新的1920 X 1920像素，高分辨率相机可以提高点测量能力。这意味着您可以更准确地表征MRF移除函数，使您能够做出更好的制造工艺决策，并更快、更准确地实现收敛。

C03型PicoScale传感器头

德国

分类：干涉仪

厂家：SmarAct

波长: 1555nm 光输出功率: 75μW 激光输出模式: 单模光束直径: 1590μm 光束腰位置: 0.5m

PicoScale传感器头C03是一款优化用于中等工作距离的传感器头，采用反射镜作为目标。探测光束经过扩展以减少发散度，并在目标镜反射后收集更多光功率。

C01型PicoScale传感器头

德国

分类：干涉仪

厂家：SmarAct

波长: 1555nm 光输出功率: 75μW 激光输出模式: 单模光束直径: 400μm 腰部位置: 0

PicoScale传感器头C01是PicoScale干涉仪的标准传感器头，具有准直输出光束、紧凑的外形和多种定制选项，适用于大多数常见应用。

µPhase® 500柔性干涉仪传感器

德国

分类：干涉仪

厂家：TRIOPTICS GmbH

测量技术: Twyman-Green phase-shifting interferometer, convertible to Fizeau measurement mode 测量能力: Measurement of surface topography of reflective surfaces and optics 测量能力: and wavefronts of optical systems in transmission 激光波长: 632.8nm; option: any wavelength between 355 and 1064nm upon request PV重复性: λ/400 (λ=632.8nm)

μPhase干涉仪是一种高精度的光学测量设备，能够快速可靠地测量表面和波前的形状。其紧凑、轻便的设计适用于各种工作环境，并配备μShape测量和分析软件以满足质量管理的最高要求。

µPhase® 1000柔性干涉仪传感器

德国

分类：干涉仪

厂家：TRIOPTICS GmbH

测量技术: Twyman-Green相移干涉仪，可转换为Fizeau测量模式测量能力: 反射表面和光学系统的表面形貌测量，以及透射中的波前测量激光波长: 632.8nm；可选范围为335nm至1064nm PV重复性: λ/400 (λ=632.8nm) RMS重复性: λ/6500 (λ=632.8nm)

μPhase干涉仪是一种高精度的光学测量设备，能够快速可靠地提供表面和波前测量结果。其紧凑、轻便的设计适用于各种工作环境，并通过μShape测量和分析软件实现质量管理的最高要求。