干涉仪

DynaFiz 动态计量干涉仪 专为在易振动环境中进行可靠的干涉测量而设计；用途广泛且灵活，可满足从高端望远镜测试到光学系统主动校准的实时相位反馈等各种应用需求。 DynaFiz® 的高光效光学设计与 ZYGO 高功率氦氖激光源相结合，可在 "冻结 "振动的高相机快门速度下运行。这种动态功能可在对传统的时相移技术来说过于剧烈的环境中提供可靠的测量。

Verifire XL 是一个完整的干涉仪工作站，具有大孔径和小占地面积，可轻松测试直径达 300 毫米的平面光学器件。

刚性门式结构上的垂直梁导向 安装在减震花岗岩底座上 被动式空气减震器 用于放大干涉图像的电动变焦装置 用于横向定位的空气轴承台 尖端和倾斜装置 安全气壳

高精度减震花岗岩底座，安装在被动式4点减震系统上 通过对称门户结构避免静态相关的干扰因素 节省空间的显示器集成。监测台不直接安装在测量结构上，以获得更好的测量结果。 通过带集成三轴微调的空气轴承滑台平稳、精确地定位测试对象 可调节的监测器支架 提供不同的功能强大的干涉仪模块（MAHR MarOpto FI 1100 Z 或 Zygo Verifire）和舒适的软件解决方案，用于评估测量结果。

新型多功能缝合干涉仪MSI 300专为测试直径达300毫米的高孔径球体而设计。可选配最大300毫米的平面光学测量仪 刚性花岗岩底座和无源空气轴承 Z轴调整中的高精度半径滑块 MAHR MarOpto FI 1100 Z干涉仪模块 带X/Y轴十字滑台的反向设计干涉仪模块 高分辨率旋转轴（B轴），用于在光路中定位高孔径球体 直接驱动旋转轴（C轴），用于旋转光路中的高孔径球和可选平面 标准工件夹头HD-40（可选配其他夹头） OptoTech Inspect Mini EL-F数字式4 "菲佐干涉仪模块（其它模块可根据要求提供） 设计紧凑，集成PC工作区 操作 传统（手动）或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制

用于球面和非球面检测的高精度Fizeau车间干涉仪。 高精度运动学和高达150毫米的工作范围使该测量机成为高端光学产品生产不可或缺的工具。 测量支架由减震花岗岩制成，具有高的精度和刚度 被动空气减震元件安装在稳定的钢制底座上 半径滑块，带预载无间隙抗摩擦轴承，由伺服电机驱动，通过操纵杆变速，行程1050毫米 三轴工作台（可选配五轴工作台） 海德汉玻璃光栅尺，总行程测量精度为5 μm，实现半径的绝对测量精度，光栅尺安装在光轴附近（阿贝原理） 创新的、便于维护的现有类型干涉仪安装，包括分析软件（MAHR MarOpto FI 1100 Z、Zygo GPI/Verifire 4英寸和6英寸干涉仪）

刚性花岗岩底座和被动式空气阻尼器 Z轴配置的高精度半径滑轨 安装在B轴上的反向设计的干涉仪模块 高分辨率旋转轴（B 轴），用于将干涉仪单元垂直于基片表面定位 直接驱动旋转轴（C轴），用于旋转光路中的高孔径球面和平面 OptoTech Inspect Mini EL-F 数字式 2" 菲佐干涉仪模块 设计紧凑，集成 PC 工作站 操作： 传统（手动）或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制 OptoTech干涉仪软件 μShape OWI用于自动透镜评估

优化用于生产 测量装置由天然硬石制成，门式结构，被动气浮，水平调节 干涉仪模块反向安装在X轴上 X/Y/Z/B轴可通过电机调节。可通过操纵杆移动。测量位置可保存 适用于CX和CV圆柱和平面光学元件 通过使用计算机生成的全息图（CGH）将准直波面分割为一维，以创建圆柱波面。 包括集成 PC 工作站 OptoTech软件与Zygo MX相结合 全自动测量单个圆柱段

- 优化用于生产 测量支架由花岗岩制成，具有高的精度和刚度 - 不锈钢机器底座。被动式空气减震元件安装在稳定的钢制底座上。 - 3个带花岗岩塔架的被动空气减震元件，具有最高的精度和刚度。 - 弧度滑块，带无间隙预应力摩擦轴承，由伺服电机驱动。带无间隙预应力摩擦轴承的半径滑块，由伺服电机驱动。操纵杆用于变 操纵杆用于变速行走，最大行程1500mm。 - 三轴精密可调工作台（多种X/Y测量选项 三轴精密可调工作台） - 海德汉玻璃光栅尺，测量精度为5微米。海德汉玻璃光栅尺，总行程测量精度为5 µm，用于半径的绝对测量精度、 光栅尺靠近光轴安装（阿贝原理） - 通过激光对中测量半径轴（包括 测量协议） - 创新性地安装当前类型的干涉仪（MAHR MarOpto FI 1100 Z, Zygo 4 通过激光对中测量半径轴，包括测量协议。 英寸和6英寸，Äpre S100/150 HR），包括分析软件。 软件 - 通过镜子系统重新定向半径轴，节省空间 安装方便 - 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 PC 工作站

刚性花岗岩塔架，通过四个减震器被动隔振 - 用于无级调节测量工作台的操纵杆，线性滑轨采用无游隙轴承 - 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动，速度可通过操纵杆调节（无级调节） - 手动微调，使用细牙螺杆，带 高精度滚柱导轨 - 3轴工作台（基本型机床只有Z轴；可选配不同的X-Y轴型号 不同的X-Y轴选项） - 各种干涉仪模块： MarOpto 4", Zygo VeriFire - 用于参考球的4 "卡口接口，与Zygo、Zeiss F-Aplanar等兼容。Zygo、Zeiss F-Aplanar等。

标准设置，干涉仪模块位于花岗岩工作台底部，与Z轴对齐 - 测量球形部件的理想工具。 多种选件使这些测量设备能够适应不同的测量任务。 - 微型光学元件的测量范围可达直径60mm。 - 设计紧凑，可用于生产 安装在减震花岗岩台面上。带4个减震元件的被动减震系统。 全面的模块化系统允许所有轴的配置，在轴承（摩擦或交叉滚柱轴承）和通过滚珠丝杠主轴的工作台驱动（手动或电动）方面，可根据具体应用进行理想的定制。 OptoTech干涉仪模块 检查微型EL-F数字式，带60毫米扩束器 使用高质量的OptoTech 60mm基准球测量微光学元件，测量精度为 λ/20 - 集成数字位置传感器（海德汉线性光栅尺），分辨率为 1µm，用于测量测试半径。

非接触式镜片测量系统，不损伤镜片表面 镜片表面 - - 坚固的减震设计 设计紧凑，可方便地直接安装在抛光机旁 可直接安装在抛光机旁 - 比测试板更安全、更精确 - 带千分尺螺钉的三轴微调平台 包括我们的高级干涉仪模块OptoTech 微型EL-F数字式检测仪 使用高质量的OptoTech 60mm基准球面仪 测量范围从微型光学元件到4英寸光学元件

用于镜片的非接触式测量系统，由于采用非接触式测量技术，不会对镜片表面造成损坏。 非接触式测量技术不会损坏镜片表面 - 坚固的减震设计 - 比测试板更安全、更精确 设计紧凑，可方便地直接安装在抛光机旁 可直接安装在抛光机旁 - 带千分尺螺钉的三轴微调平台 包括我们的高级干涉仪模块OptoTech 微型EL-F数字干涉仪

来自Kylia的WT-MINT，100ps是一款干涉仪，其自由光谱范围（FSR）为10 GHz至无限，工作温度为10至35摄氏度。有关WT-MINT，100ps的更多详细信息，请联系我们。

来自Kylia的WT-MINT，3至12ns是Mach-Zender延迟线干涉仪，其在可见光至IR波长IE中操作；800纳米、1064纳米、1300纳米和1520-1570纳米。它的光延迟范围为3-12ns，插入损耗为9dB，最小光回波损耗小于35dB.该干涉仪的偏振模色散为0.1ps，色散为1ps/nm.它具有高达1.5FSR（自由光谱范围）的调谐范围和25dB的偏振消光比。该干涉仪需要高达90 V的直流电源，功耗高达0.5 W.WT-MINT，3至12 ns，采用封装，尺寸为750 X 400 X 129 mm，具有SMF-28/Panda PM光纤尾纤。它支持BNC、FP/UPC、FC/APC、SC/PC、SC/APC、LC/PC、E2000/PC和E2000/APC等。连接器。该干涉仪是DPSK解调应用的理想选择。

来自Kylia的WT-MINT，300ps是一款干涉仪，其自由光谱范围（FSR）为3.3 GHz至无限，2.5至10 GHz，工作温度为10至35摄氏度。有关WT-MINT，300ps的更多详细信息，请联系我们。

4D Technology的PhaseCam 6010是一款动态Twyman-Green干涉仪，工作波长为632.8 nm.它有一个400万像素的摄像头，可对所有内部功能进行全电动控制，并可对光路测量进行轴上照明和成像。该圆偏振干涉仪具有光纤耦合头和激光源模块，可提供1.5 MW的输出功率，并在FWHM下产生直径为7 mm的光束。PhaseCam 6010具有动态干涉测量技术，该技术使用单个相机高速光学相位传感器在小于30&μs的时间内进行波前测量。该干涉仪的采集速率超过15帧/秒，可在几乎任何条件下使用，无需隔振。PhaseCam 6010功耗高达750 W，采用尺寸为18 X 16.2 X 9.1 cm（测量头）的封装，配有48.3 X 20.3 X 11.9 cm激光源。它是米级望远镜光学系统、大型成像系统校准、真空和环境室测试、测试计算机生成全息图和生产车间质量控制应用的理想选择。

4D Technology的PhaseCam 6110是一款干涉仪，波长为632.8 nm，工作温度为16至27摄氏度。PhaseCam 6110的更多详细信息可在下面查看。

4D Technology的PhaseCam MWIR是一款干涉仪，波长为3390 nm，工作温度为16至27摄氏度。PhaseCam MWIR的更多详情见下文。

4D Technology的PhaseCam NIR是一种波长为1064 nm的干涉仪，工作温度为16至27摄氏度。PhaseCam NIR的更多详细信息可在下面查看。