什么是激光干涉仪(Laser Interferometer)?激光干涉仪的工作原理是什么?
激光干涉仪是采用激光技术和电子控制的干涉仪之一,用于校准滑移量具以及检查机器零件的直线度、平行度和平面度。激光干涉仪是用于激光干涉仪的技术,以高精度测量两个物体之间的距离或物体的形状。它以干涉原理为基础,即当两个波重叠并结合成一个新的波纹时发生的现象。
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新的M,F&A Mark IV全光纤多普勒速度干涉仪系统在测量和记录瞬时速度与时间历程方面提供了增强的能力。两个版本的Mark IV系统现已投入使用。较初的Mark IV系统已在世界各地使用,并在目标表面具有合理反射的情况下提供了出色的结果。在较新版本的Mark IV中,我们升级到了新的超窄线宽激光器,以提高速度分辨率。这些系统还采用了较新的发展,如新的镍金属氢化物电源和充电系统。新的前面板布置包括一个“平衡”旋钮,可轻松均衡“正弦”和“余弦”信号幅度,以及一个数字电池电压监测器。新系统内置在1U机架安装机箱中,如果需要,可以在以后通过添加EDFA轻松升级到Mark IV-3000。Mark IV-3000采用基于相同超窄线宽种子激光器的全新系统架构,但该版本集成了+30 dB的EDFA将来自边缘目标表面的相对较弱的回光提升到在检测端给出高信噪比的水平。反射回光的这种提升相当于在目标上施加3000mW的激光功率。
紧凑型车间干涉仪OWI Desktop 60 mm是内窥镜检查和微型生产的理想测量机器。
通常,基于多棱镜扩束和数字检测,狭缝干涉仪允许透射光学表面的快速干涉测量表征。与传统的逐点非相干显微密度计和逐点非相干显微镜相比,这是一个显著的进步。
波长: 632.8 nm
普惠测量系统公司(Pratt&Whitney Measurement Systems)的LMS200是一种激光干涉仪,通过将测量探头位置与632.8nm红色氦氖激光光源的波长进行比较来测量内部和外部尺寸。该专利激光路径与测量轴一致,消除了阿贝误差。它有一个花岗岩底座,其热膨胀系数比钢小十倍以上,使该干涉仪成为高度稳定的测量源。该干涉仪的精度为0.05+0.5Lµm,重复性为0.04µm.它的测量范围高达200 mm,直接读数范围为200 mm.LMS200干涉仪有一个碳化钨平板(1/10波)测量探头,带有Ø0.25金刚石尖端。探头是电动和远程控制的,以提高系统稳定性并消除操作员的影响。它可以测量最大尺寸为293 X 203 mm的样品,并具有14克的探针接触力。该干涉仪具有两步校准功能,这是一种先进的省时功能,允许使用两个实验室级别的可追踪量块进行校准,从开始到结束仅需30秒。它可以在直接读取或比较器模式下工作,并具有可编程自动循环功能,支持用户定义的恒定吞吐速率。该干涉仪根据命令存储所有测量结果的总和,并可显示统计数据,指示计算的平均值和一个标准偏差。LMS200需要110/120至220/240 V的交流电源,并消耗1-2 A的电流。它采用尺寸为56 X 41 X 79 cm的封装,非常适合测量球/球体、磁带/磁盘基板、光学元件、聚乙烯薄膜、量块/滑规、涂层厚度标准、塞规和销规、丝线、薄膜厚度、量块堆叠、网格厚度、纺织品和精密零件。
波长: 1275 to 2000 nm探测器类型: Photodiode
Thorlabs Inc的SA210-12B是一款干涉仪,自由光谱范围(FSR)为10 GHz,波长为1275至2000 nm.有关SA210-12B的更多详细信息,请参见下文。
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多轴干涉仪是一种使用多束光进行测量的干涉仪。这些干涉仪测量两轴和三轴,可以提高精度,减少对准时间,并节省高性能多轴系统的空间。
干涉仪应用天文学领域、医学领域