什么是激光干涉仪(Laser Interferometer)?激光干涉仪的工作原理是什么?
激光干涉仪是采用激光技术和电子控制的干涉仪之一,用于校准滑移量具以及检查机器零件的直线度、平行度和平面度。激光干涉仪是用于激光干涉仪的技术,以高精度测量两个物体之间的距离或物体的形状。它以干涉原理为基础,即当两个波重叠并结合成一个新的波纹时发生的现象。
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HelioSpetTM H6的设计可满足较苛刻的3D在线检测任务的规格,如测量台阶高度、角度、形状、粗糙度、波纹、波度、缺陷、划痕、磨损平整度、共面性、变形膜厚度(层析成像模式)。得益于Heliotis在工业应用3D传感器方面的长期经验,H6将干涉测量精度与鲁棒性和高吞吐量相结合。
通常,基于多棱镜扩束和数字检测,狭缝干涉仪允许透射光学表面的快速干涉测量表征。与传统的逐点非相干显微密度计和逐点非相干显微镜相比,这是一个显著的进步。
波长: 3390 nm
4D Technology的PhaseCam MWIR是一款干涉仪,波长为3390 nm,工作温度为16至27摄氏度。PhaseCam MWIR的更多详情见下文。
是德科技(Keysight Technologies)的E1715A是一款专为现代激光计量系统设计的3轴干涉仪。它基于Keysight先进的单片光学设计技术,具有高指向稳定性。该干涉仪集成了带有ST连接器的远程传感器,无需单独安装远程传感器。它的光学分辨率为λ/4,采用平面镜,输出效率为18%。该干涉仪产生直径为4 mm的光束,平行角小于25μrad(轴1-2和轴1-3),并且相对于加工基准具有出色的光束角精度。除标准配置外,E1715A还有三个可选版本-一个不包括远程传感器,一个包括输入弯折镜,第三个版本结合了这两个选项。它采用紧凑的不锈钢外壳,尺寸为68 X 55 X 44 mm,输出耦合到400微米塑料或玻璃光纤,配有ST连接器,NA为0.39。
波长: 535 to 820 nm探测器类型: Photodiode
Thorlabs公司的SA200-5B是一款干涉仪,自由光谱范围(FSR)为1.5 GHz,波长为535至820 nm.有关SA200-5B的更多详细信息,请参见下文。
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