C01型PicoScale传感器头

干涉仪是光学生产和质量控制中不可缺少的测量工具。它们用于各种各样的应用。例如，光学表面的平面度和球度检测、半径测量以及光学系统的波前检测。VI系列干涉仪有两种版本：干涉仪VI-Vario和干涉仪VI-Direct。两个版本的不同之处在于仪器中使用的相机类型。干涉仪VI-Vario包含一个模拟摄像机，可连接电视监视器。干涉仪Vi-Direct配有基于USB的数码相机。与模拟摄像机相比，该摄像机具有更高的横向分辨率。它允许干涉图像的三倍数字缩放，因此可以测试较小的部件。另一个优点是降低了对外部干扰（例如振动）的敏感性。

Zygo的新型VeriFire HDX干涉仪专为极高性能光学元件和系统的中间空间频率成分表征而设计和制造。该系统包括广受欢迎的VeriFire HD的所有强大功能（如QPSI和长寿命稳定激光器），并增加了重要的增强功能，如新的同类较佳成像和高仪器传递函数（ITF）分辨率、中间空间频率内容和高斜率表面偏差的卓越特性，以及Zygo的DynaPhase®动态采集技术（可选），该技术可消除振动引起的问题，并在几乎任何环境中实现精密计量。

波长: 840 nm

Micro-Epsilon的IMS5400-TH45是一款白光干涉仪，专为工业厚度测量而设计。它可以测量0.035-1.4毫米的厚度，测量距离可达45毫米，频率可在100赫兹至6千赫兹之间连续调节。该干涉仪具有波长为840nm的NIR-SLED光源，甚至可以测量光学非致密物体（如抗反射镀膜玻璃）的厚度。IMS5400-TH45提供了与距离无关的测量的决定性优势，从而获得稳定的纳米精度厚度值。目标可以在其测量范围内移动而不影响精度。该干涉仪的厚度测量范围还允许测量薄层、平板玻璃和薄膜。它需要24 V直流电源，功耗为10 W.该干涉仪采用尺寸为Φ10 X 55 mm的铝制外壳。

波长: 1275 to 2000 nm探测器类型: Photodiode

Thorlabs公司的SA200-12B是一款干涉仪，自由光谱范围（FSR）为1.5 GHz，波长为1275至2000 nm.有关SA200-12B的更多详细信息，请参见下文。

波长: 380 to 430 nm

Toptica Photonics的FPI-100-0400-1是一款法布里-珀罗干涉仪，工作波长为380至430 nm.它的自由频谱范围（FSR）为1 GHz，频率分辨率为2.5 GHz.该共焦扫描干涉仪具有7mm的孔径、超过400的典型精细度和具有99.8%反射率的标准镜。它有一个内置的光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波（CW）激光器的模式分布。该干涉仪具有FC/APC光纤连接器，是电信和光谱分析应用的理想选择。