NSLI-632-1 N-Slit激光干涉仪

HelioSpetTM H6的设计可满足较苛刻的3D在线检测任务的规格，如测量台阶高度、角度、形状、粗糙度、波纹、波度、缺陷、划痕、磨损平整度、共面性、变形膜厚度（层析成像模式）。得益于Heliotis在工业应用3D传感器方面的长期经验，H6将干涉测量精度与鲁棒性和高吞吐量相结合。

光纤通信要求光学元件极度小型化。针对DWDM（密集波分复用）、线路窄化和信道监控等应用，TecOptics推出了新的微标准具系列。新开发的制造技术使TecOptics能够以低廉的价格提供大量这些微型空气间隔和固体标准具。空气间隔版本具有小至4.5mm X 2mm X 3mm的尺寸，而固体微标准具横截面可以小至2mm。精细度值可以大于100。

波长: 632.8 nm

4D Technology的PhaseCam Vacuum-Compatible是一款干涉仪，波长为632.8 nm，工作温度为16至27摄氏度。有关PhaseCam Vacuum-Compatible的更多详细信息，请参见下文。

波长: 633 nm

Zygo公司的VeriFire是一款Fizeau干涉仪，具有专利的QPSI采集功能，并配有一个160 Hz的摄像机，可提供1200 X 1200像素的分辨率。它有一个有线和无线遥控编码焦点可切换偏振套件，具有1-5倍的光学放大倍率。该干涉仪具有633nm高功率稳定HeNe激光源，其产生最小3mW的IIIA类偏振输出。它的测试光束直径为4或6英寸，光学中心线为4.25英寸。该干涉仪需要81-188ms的采集时间，4英寸的光瞳聚焦范围为±2.5m，6英寸的光瞳聚焦范围为±5.5m.它可以通过高性能戴尔PC、Windows 1064位、MX™软件进行控制，并具有水平或垂直安装配置。VeriFire具有3种数据采集模式，即PSI（时间相移干涉测量法）、QPSI（振动稳健的时间相移干涉测量法）和可选的DynaPhase（振动不敏感的瞬时干涉测量）。它有一个带双点分划板的快速条纹采集系统（QFAS），需要100-240 V的交流电源。它采用尺寸为69 X 31 X 34 cm（4英寸）或92 X 31 X 34 cm（6英寸）的封装，是反射光学器件、透明光学器件和成像系统的理想选择。

波长: 380 to 430 nm

Toptica Photonics的FPI-100-0400-1是一款法布里-珀罗干涉仪，工作波长为380至430 nm.它的自由频谱范围（FSR）为1 GHz，频率分辨率为2.5 GHz.该共焦扫描干涉仪具有7mm的孔径、超过400的典型精细度和具有99.8%反射率的标准镜。它有一个内置的光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波（CW）激光器的模式分布。该干涉仪具有FC/APC光纤连接器，是电信和光谱分析应用的理想选择。