MIL 301RHD

IPG Photonics的RGB-300-6P/3P是一款波长为615和635 nm（红色）、525和545 nm（绿色）、445和465 nm（蓝色）的激光器，功率为300 W（红色）、330 W（绿色）、270 W（蓝色），输出功率（CW）为300 W（红色），330 W（绿色），270 W（蓝色）。有关RGB-300-6P/3P的更多详细信息，请参阅下文。

波长: 730 nm

LaserGlow Technologies的J732001FX是一款波长为730 nm、功率为200 MW、输出功率（CW）为200 MW、工作温度为10至35摄氏度、存储温度为-10至50摄氏度的激光器。有关J732001FX的更多详细信息，请参见下文。

波长: 1940 nm

LaserGlow Technologies的RJ40101FX是一款波长为1940 nm、功率为10 MW、工作温度为10至35摄氏度、存储温度为-10至50摄氏度的激光器。有关RJ40101FX的更多详细信息，请参见下文。

波长: 1030 to 1100 nm

Optromix的IRYBUS-NL-1070X是一款激光器，波长为1030至1100 nm，功率为1 W、5 W、10 W、20 W、50 W，输出功率（CW）为1 W、5 W、10 W、20 W、50 W，工作温度为0至40摄氏度，存储温度为40至70摄氏度。有关IRYBUS-NL-1070X的更多详细信息，请参见下文。

波长: 193 nm

先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律，技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE（Edge Placement Error）具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness)，为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%，减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件，将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性，为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。