最新研究揭示了光探测与测距(LIDAR)技术的进步,该技术在测量远程物体距离方面具有无与伦比的灵敏度和精确度。
GT66A
激光器 光学模块 曝光光源 半导体设备
满足进一步技术要求的浸没式光刻光源
概述
参数
- 波长 / Wavelength : 193 nm
- 功率 / Power : 60-90 W
应用
1. 半导体制造 2. 光刻曝光 3. 高端光源应用
特征
1. 波长:193 nm 2. 散斑对比度降低30% 3. 维护周期延长30% 4. 提高生产率
详述
主要特点
改善最尖端节点的成品率
通过新开发的光学模块将散斑对比度降低30%,并实现了LER/LWR的改善。从而为光刻尖端节点批量生产的节点进一步改善提供帮助。
高水平的可用性
还通过引入最新的高度耐用零件,将模块的维护周期延长30%。由此实现高水平的可用性,并有助于提高生产性。
提供可持续发展解决方案
该光源标配无氦技术,除可以防备稀有气体供给不足的风险外,还能通过气体的消耗量削减技术实现更环保。
主要规格
规格项目 | 值* |
---|---|
振荡波长 | 193 nm |
输出 | 60 – 90W |
振荡频率 | 6,000 Hz |
光谱宽度(95%能量积分宽度-E95) | 300 +/- 1.5fm wafer average |
特点 | 减少EPE的解决方案 Continuous Reliability Improvement (CRI) Package 可持续发展解决方案 |
(*) 上述各规格值为代表值
/nGT66A是由GIGAPHOTON公司推出的先进浸没式曝光光源,具有极其高的技术规格和卓越的性能。该产品采用193 nm的波长,特别适用于半导体行业的光刻工艺。通过降低散斑对比度30%和延长维护周期30%,GT66A不仅提升了生产过程的效率,还显著提高了设备的可用性,使其在封装和集成电路生产中得到广泛应用。其显著的优势在于能够有效降低EPE(边缘定位误差),从而提高成品率,确保制造过程在最尖端节点的高生产性。GT66A为用户提供了一款理想的光源解决方案,确保在不断追求技术进步的市场中保持竞争力。规格书
请提供您的邮箱下载规格书
怎么称呼您
接收邮箱
厂家介绍
成立于2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。
相关产品
-
0.1gbps-100gbps aoc-transceiver 误码率测试器
激光器模块和系统
Liverage Technology Inc
IBERT X1 Mini是一款误码率测试仪(BERT),专为0.1Gbps至100Gbps的AOC测量而设计。有两个可互换的插槽板,分别包括QSFP和SFP端口。QSFP和SFP端口都遵循QSFP MSA和SFP MSA。用户界面允许通过USB电缆连接到PC来单独监控误码率、错误计数和计时器。还可以在用户界面中监控收发器模块的串行ID和数字诊断监视器。
-
1、1.5、2微米的脉冲单频光纤激光器
激光器模块和系统
AdValue Photonics
波长: 1550 nm
脉冲单频光纤激光器设计用于在单纵模下提供较高的脉冲能量,具有强大的研究和工业应用能力。
-
1微米飞秒光纤激光器
激光器模块和系统
CALMAR Laser
波长: 1030nm
1µm飞秒光纤激光器是一种高质量、可靠的被动锁模光纤激光器。模块(FPL-M)系列具有对冲击和振动不敏感的坚固结构,并为苛刻的OEM应用(尤其是用于玻璃切割和消费电子制造的高功率皮秒激光器)提供了卓越的稳定性和可靠性。先进的工程设计和一致的制造工艺确保了OEM批量生产的较高质量标准。波长可以从1030到1065纳米之间选择。脉冲宽度在工厂可从0.7到10 ps之间选择,脉冲形状接近变换限制。定时抖动低至60 fs。重复频率可指定为20至80 MHz。FPL-M系列具有高达20 mW的输出功率,是需要低电源的应用中较经济的解决方案。射频同步输出作为触发信号提供。FPL-M系列既可以用作带有5 VDC电源的独立激光源,也可以用作单独的驱动器,或者作为OEM模块集成。
-
1微米高功率亚瓦级飞秒光纤激光器
激光器模块和系统
CALMAR Laser
波长: 1030nm
1µm亚瓦特飞秒光纤激光器是一种高质量、可靠的被动锁模光纤激光器,输出功率为几百mW。该系列采用了对冲击和振动不敏感的坚固结构,为苛刻的应用提供了卓越的稳定性和可靠性。先进的工程设计和一致的制造工艺确保了OEM批量生产的较高质量标准。波长可以从1030到1065纳米之间选择。脉冲宽度在工厂可从0.2到>6 ps进行选择。定时抖动低至60 fs。重复频率可指定为10至50 MHz。射频同步输出作为触发信号提供。该模块系列可作为带有5 VDC电源的独立激光源或单独的驱动器使用,或作为OEM模块集成。
-
1微米可调谐光纤激光器Varius-NL-1064T
激光器模块和系统
OPTROMIX
波长: 1030nm
Varius-NL-10xx-T是波长可调谐的1030 nm-1110 nm连续光纤激光器。Varius的主要功能是波长调谐,步长为0.2 nm。
相关文章
-
-
巴塞尔大学的研究人员最近在《激光在外科和医学中的应用》(Lasers in Surgery and Medicine)杂志上发表论文,为安全、精确地使用激光做出了重要贡献。由巴塞尔生物医学工程系的费尔达-坎巴兹博士(Dr. Ferda Canbaz)和前巴塞尔大学教授、现纽约大学教授阿扎尔-扎姆(Professor Azhar Zam)领导的研究小组开发出了一种集三种功能于一身的系统:切割骨骼、控制切割深度和区分不同组织。
-
起点是一个镱激光器--而不是传统的钛蓝宝石激光器。
-
使用激光使原子减速是一项已经使用了很久的技术。如果人们想在绝对温度为零的范围内实现低温世界纪录,就会求助于激光冷却,即用合适的激光束从原子中提取能量。
加载中....