RA610BXSX

波长: 1064nm

1064L-1XB是Integrated Optics的1064 nm DPSS激光器。IO Matchbox系列包括单模激光器，在超紧凑的一体化驱动器集成激光头中提供卓越的性能和可靠性。1064L-1XB标配内部电压上转换，允许使用5V电源，同时保持低噪声工作。Matchbox系列激光器的单片设计包括密封外壳中的热稳定光学器件，确保可靠和免维护操作。所有Matchbox系列模块都包括12个月的保修，并符合RoHS标准。1064L-11B是可用空间版本，其他版本取决于部件号中的变量X。以下是1064L-1xB可用的自由空间和光纤耦合输出类型：（X定义模块的输出类型）。

波长: 488 nm

国家激光公司的C61BL是一款波长为488 nm的激光器，功率为4至30 MW，输出功率（CW）为4至30 MW，工作温度为4至40摄氏度，存储温度为-30至60摄氏度。有关C61BL的更多详细信息，请参见下文。

波长: 633 nm

LaserGlow Technologies的J621003FX是一款波长为633 nm、功率为100 MW、工作温度为10至35摄氏度、存储温度为-10至50摄氏度的激光器。有关J621003FX的更多详细信息，请参见下文。

波长: 730 nm

LaserGlow Technologies的J730205FX是一款波长为730 nm、功率为20 MW、输出功率（CW）为20 MW、工作温度为10至35摄氏度、存储温度为-10至50摄氏度的激光器。有关J730205FX的更多详细信息，请参见下文。

波长: 193 nm

先进产品制造目前仍继续应用摩尔定律，技术节点日益微细化。这些尖端产品对转印到晶圆上的曝光图案、特别是EPE（Edge Placement Error）具有很高的要求。作为光源通过降低直接影响EPE的CD LER/LWR(Line Edge Roughness/Line Width Roughness)，为提高批量生产现场的成品率提供帮助。 新型浸没式曝光光源“GT66A”通过新开发的光学模块成功地将散斑对比度降低30%，减少了LER/LWR。还通过引入新的高度耐用零件，将模块的维护周期延长30%。由此实现进一步改善工序成品率、提高光源的可用性，为尖端节点批量生产的高生产性提供帮助。