由于新的太赫兹源和检测器的开发高度增加,太赫兹(THz)的差距正在迅速缩小。
印第安之星系列概述
来自Coherent Inc.的IndyStar系列是波长为193,248nm,功率为8至12W,输出功率(脉冲)为8至12W,脉冲能量为4至12mJ的激光器。有关IndyStar系列的更多详细信息,
印第安之星系列参数
- 类型 / Type : Laser System
- 技术 / Technology : Excimer Laser
- 工作模式 / Operation Mode : Pulsed laser
- 超快激光 / Ultrafast Laser : Nanosecond Lasers
- 波长 / Wavelength : 193, 248 nm
- 可调谐 / Tunable : No
- 激光颜色 / Laser Color : Ultraviolet
- 功率 / Power : 8 to 12 W
- 脉冲能量 / Pulse Energy : 4 to 12 mJ
- 应用行业 / Application Industry : Inspection / Analysis / Detection, Industrial (Material Processing), Test & Measurement / Instrumentation
印第安之星系列规格书
印第安之星系列厂家介绍
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稳定性和耐用性是准分子激光器较大的技术挑战,因为它使用氟、高压放电和深紫外线,所有这些都是高活性的。除了稳定性和耐用性外,用于光刻工具的准分子激光光源还需要激光束的高单色性和输出能量的高均匀性。作为世界上先进个满足所有这些要求的准分子激光光源,G10K自1997年上市以来,在光刻光源市场上赢得了极高的声誉。这一模式仍在世界各地的实地运作。
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