多轴镜定位系统PSH 1-4

EncoderDriver线性驱动器套件提供10 mm、13 mm、25 mm和50 mm ( 0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸)行程范围，适用于Ealing量程的千分尺驱动级。10毫米驱动器提供了一个固定的球形尖端，所有其他都提供了可互换的球形和平面尖端。每个编码器驱动器组件包括编码器驱动器、3 m延长电缆和子板驱动模块。该子板驱动模块直接插入到EncoderDriver控制卡中。EncoderDriver Actuators可单独用于OEM应用程序。

结合了高精度、高强度和高动态性能。可用于10-9 hPa真空环境的版本。滚珠丝杠平稳进给。用于匀速运动的非旋转高端可防止接触点的摆动、扭矩和磨损。包括用于解耦力的扁平和球形高端。非接触式限位开关可保护机械装置。方向传感参考开关支持自动化应用。连接器中带有差分编码器驱动器的位置控制变体，可在长达10米的距离内安全传输信号。

NPS-Z-15L是一款针对高负载应用而优化的压电扫描台。NPS-Z-15L提供超过15μm的闭环行程，具有亚纳米分辨率和稳定性。该平台专为高刚度设计，可承载高达500 kg的负载。优化的机械设计产生了空载谐振频率大于8000Hz的器件。超级殷钢结构意味着舞台具有非常高的热稳定性和环境稳定性。通过闭环PID电子设备进行动态优化，较大限度地提高系统的现场步进响应和位置稳定性。电子配置可提供多达3个或6个阶段的独立控制，非常适合大型光学器件或晶片/掩模器件的对准/调平。

工作电压0至1000V。使用寿命长，无降额。大位移，低电容。亚纳米分辨率，µs响应。集成温度传感器，防止过热损坏。极高的可靠性：>109次循环。