MM-3M-R旋转式电动微型平台

如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项，请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。Zaber的X-LRQ-SV2系列设备是高真空、计算机控制、电动线性平台，具有高刚度、高负载和高寿命能力，尺寸紧凑。它们是独立的装置，只需要标准的24 V或48 V电源。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口，并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源，使多个X系列产品可以共享一个电源。这些真空级高度仅为36 mm，非常适合需要低轮廓的应用。X-LRQ-SV2的创新设计允许速度高达205 mm/s，负载高达100 kg。与Zaber的所有产品一样，X-LRQ-SV2系列采用“即插即用”设计，非常易于设置和操作。这些载物台可以用螺栓固定在XY系统中。

骏河精机的轻型KXC系列线性电动平移台非常适合需要良好精度和相对较大行程范围的应用。这些电动平移台在激光光学、光谱学、显微镜和计量应用中特别受欢迎。无论您是在研发或工业环境中工作，还是为您的运动控制应用寻找OEM解决方案，骏河精机都能为您的应用提供合适的解决方案。我们的产品在日本制造，并经过严格的质量控制，以满足客户的需求。

一种线性电机驱动台，适用于可靠的24/7操作、精确定位和易于使用的应用。多功能150 mm X 46 mm外壳非常适合许多仪器类型的机器和机器人设备。用于载物台定位的Lineax®直接驱动线性电机比传统的螺杆驱动载物台更具优势。直接驱动系统提供出色的轨迹控制。这些刚性、无弹性结构的性质使快速建立时间、高可重复性和较快的伺服响应成为可能。没有旋转惯性，可实现更快的加速度和更高的速度。消除了旋转部件的磨损，提高了可靠性，延长了正常运行时间，并延长了维修间隔，这些都有助于降低拥有成本。带有高分辨率编码器的直接驱动线性电机可实现精确的速度调节。

设计特点移动到240μm X 240μm X 25μm高达66 mm X 66 mm的大方形通光孔径通过并联运动设计实现卓越的多轴精度高刚度和高动态性能，从而实现高工艺产量高精度、无摩擦挠曲引导正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNP3系列XYZ并联运动压电定位平台在紧凑的扁平封装中结合了亚纳米分辨率、高动态性能和出色的几何性能。QNP3系列压电级标配大通光孔径，闭环行程高达200µm X 200µm X 20µm（开环行程高达240µm X 240µm X 25µm）。该设计是光学和扫描探针显微镜或其他检测或制造应用的理想选择，在这些应用中，需要通过三个自由度操作进行双面零件访问。精密平行运动设计QNP3压电级采用平行运动挠曲和计量设计，确保较高水平的多轴精度。QNP3级采用经过FEA优化的精密挠性件，可确保高刚度和长器件寿命，提供同类较佳的刚度和谐振频率，从而实现高工艺产量和快速闭环响应。使用正在申请专利的驱动器设计，X和Y偏航误差被较小化，同时仍然保持符合阿贝标准的计量系统。这种设计在整个XY行程空间内实现了无与伦比的定位性能。Z轴致动器和电容传感器被设计为在垂直方向上以较小的几何误差提供符合阿贝标准的反馈。亚纳米性能所有QNP3压电级均提供闭环反馈（-C）或开环（无反馈）。独特的电容式传感器并行计量设计可测量定位托架的输出，直接实现亚纳米分辨率、低于0.01%的线性误差和个位数纳米可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP3平台展示了亚纳米定位分辨率、定位稳定性（抖动）和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。还提供OEM驱动器选项。Aerotech的控制器架构可轻松实现压电级、伺服系统、步进器和检流计之间的高速、紧密控制的协调运动。设计选项可选的安装板提供直接安装英制或公制试验板光学表。还提供了一个坚固的桌面选项。QNP3压电级可根据要求提供定制材料和真空制备版本。

设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。