QNP3-100XYAZ-030-10 三轴、平行运动学、XYZ压电纳米定位平台

设计特点移动到240μm X 240μm X 25μm高达66 mm X 66 mm的大方形通光孔径通过并联运动设计实现卓越的多轴精度高刚度和高动态性能，从而实现高工艺产量高精度、无摩擦挠曲引导正在申请专利的设计提供了无与伦比的几何性能器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度，提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNP3系列XYZ并联运动压电定位平台在紧凑的扁平封装中结合了亚纳米分辨率、高动态性能和出色的几何性能。QNP3系列压电级标配大通光孔径，闭环行程高达200µm X 200µm X 20µm（开环行程高达240µm X 240µm X 25µm）。该设计是光学和扫描探针显微镜或其他检测或制造应用的理想选择，在这些应用中，需要通过三个自由度操作进行双面零件访问。精密平行运动设计QNP3压电级采用平行运动挠曲和计量设计，确保较高水平的多轴精度。QNP3级采用经过FEA优化的精密挠性件，可确保高刚度和长器件寿命，提供同类较佳的刚度和谐振频率，从而实现高工艺产量和快速闭环响应。使用正在申请专利的驱动器设计，X和Y偏航误差被较小化，同时仍然保持符合阿贝标准的计量系统。这种设计在整个XY行程空间内实现了无与伦比的定位性能。Z轴致动器和电容传感器被设计为在垂直方向上以较小的几何误差提供符合阿贝标准的反馈。亚纳米性能所有QNP3压电级均提供闭环反馈（-C）或开环（无反馈）。独特的电容式传感器并行计量设计可测量定位托架的输出，直接实现亚纳米分辨率、低于0.01%的线性误差和个位数纳米可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP3平台展示了亚纳米定位分辨率、定位稳定性（抖动）和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。还提供OEM驱动器选项。Aerotech的控制器架构可轻松实现压电级、伺服系统、步进器和检流计之间的高速、紧密控制的协调运动。设计选项可选的安装板提供直接安装英制或公制试验板光学表。还提供了一个坚固的桌面选项。QNP3压电级可根据要求提供定制材料和真空制备版本。