液态夹钳劈刀II LDF

EVG101抗蚀剂处理系统在单室设计上执行R&D型工艺，与EVG的自动化系统完全兼容。EVG101支持高达300 mm的晶圆，并可配置为旋涂或喷涂和显影。利用EVG先进的OmniSpray涂层技术，在3D结构晶片上实现了光致抗蚀剂或聚合物的共形层，用于互连技术。这确保了珍贵的高粘度光刻胶或聚合物的低材料消耗，同时改善了均匀性和光刻胶扩散选择。

Pro 160P CNC球面镜片抛光机能够高速抛光直径达160 mm的球面。PRO 160P采用振动隔离“坚如磐石”的花岗岩核心，具有先进精度、热稳定性和一致的零件到零件精度。这款紧凑的模块化平台的零件尺寸能力是Pro 80P的两倍，而占地面积仅略大。在用户友好的高速抛光软件（P系列）的驱动下，PRO 160P实现了快速设置和周期时间，使公司能够大量生产精密球面镜片。

Pro 80P是一款高速球面镜片抛光机，适用于直径达80 mm的工件。PRO 80P采用隔振“坚如磐石”的花岗岩内核设计，以确保较终的精度、热稳定性和一致的零件到零件精度。独特的模块化概念将大量功能集成到紧凑的空间中。借助OptiPro强大的CNC图形用户界面，Pro 80P可实现快速设置和周期时间，从而提高球面镜片的产量。

Procleave SD是一款先进的电子光纤切割器，适用于高达250μm的光纤。切肉刀专门设计用于易用性、工艺速度和高产量至关重要的生产线。切肉刀同时也非常适合研发环境。Procleave SD采用先进的超声波金刚石划片技术，以实现较佳的劈开性能和一致性。切割器产生非常平坦的端面和低切割角（典型值<0.5°），具有高可重复性。Procleave SD具有独特的通用夹紧机构，可根据所应用的光纤直径进行自我调节，无需外部零件或附件。Procleave SD由外部电源或内置充电电池供电。Procleave SD与熔接机（适用于所有主要拼接器品牌）的光纤支架一起使用。