传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
激光材料 Er:YAG概述
激光材料 Er:YAG参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : Er:YAG
- AR 涂层 / AR Coating: : Uncoated
激光材料 Er:YAG图片集
激光材料 Er:YAG规格书
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掺杂三价镱(Yb3+)的晶体在紧凑、高效的二极管泵浦激光系统中显示出巨大的应用潜力。[1-4]Yb3+离子只有两个流形,基态2F7/2和激发态2F5/2,它们相隔约10,000cm-1。因此,Yb3+掺杂材料具有有利于高能量1µm激光系统的光谱和激光特性。特别地,Yb3+掺杂材料不应遭受浓度猝灭、上转换或激发态吸收。Yb3+离子还具有很长的能量存储寿命(通常是相同基质中Nd3+的三到四倍)和非常小的量子亏损,这减少了激光过程中的热量产生。在基质材料YAG的特定情况下,Yb3+的存储寿命为950µs,量子亏损仅为8.6%。Yb3+:YAG还具有940nm的宽泵浦线,其比Nd3+:YAG中的808nm泵浦线宽10倍,使得系统对泵浦二极管波长的热漂移不太敏感。这些材料特性与940nm长寿命InGaAs泵浦二极管的发展相结合,使该材料成为二极管泵浦高能激光器的优秀候选材料。据报道,基于SM的升级Yb3+:YAG激光器系统的CW输出功率超过430 W,[1]准CW输出功率为600 W,[4]光光效率为60%。[2]据报道,此类系统可在千瓦级的输出功率下进行缩放。掺杂Yb3+的YAG晶体可以从1%-100%的各种掺杂剂浓度获得(例如镱铝石榴石-YbAg)。
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