传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
正钒酸钇(Yttrium Orthovanadate概述
钒酸钇具有较宽的透光范围和较大的双折射,是方解石(CaCO3)和金红石(TiO2)晶体的替代品,适用于光学偏振元件。
正钒酸钇(Yttrium Orthovanadate参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : YVO4
- 水晶直径 / Crystal Diameter: : 25mm
- 水晶长度 / Crystal Length: : 30mm
- AR 涂层 / AR Coating: : Uncoated
正钒酸钇(Yttrium Orthovanadate规格书
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