高负荷线性推杆M-238

电机驱动器执行器的行程范围为10 mm、13 mm、25 mm和50 mm（0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸），以适应MicroMech™Minimech™和MacroMech™系列的各种微米级驱动平台。10毫米行程单元被小型化，主体直径仅为12.7毫米（0.5英寸）。对于直径为19毫米（0.75英寸）的电动驱动器，较长的行程装置仍然很紧凑。10 mm微型致动器配有不可互换的球形高端。所有其他的都具有可互换的球形或扁平高端，两者都与装置一起提供。每个电机驱动器执行器都需要自己的手动控制装置，这些装置将在以下几页中介绍。电机驱动器执行器系列的尺寸和规格如下所示。

Bei Kimco全罩式音圈致动器（VCA）进一步扩展了半罩式VCA的概念，结合了自对准衬套和轴，但完全捕获了线圈组件以保持其与现场组件同心，增加了内部柔性电路以保护外部移动电线，并且还限制了冲程两端的轴向行程。

致动器提供非常坚硬的设计，能够产生高达1000N（MTP-15）的阻挡力。这一特性使致动器能够在Z轴上驱动较大10kg（MTP-15）的负载。在标称范围内驱动MTP执行器只需要一个0V至120VDC高压放大器。但是，如果需要，可以通过使用-30V至150VDC的高压放大器来实现额外的范围。如果需要小尺寸和闭环性能，MTP可以与Queensgate的位置测量系统结合使用。这提供了用于亚纳米精度的电容性位置感测，具有与致动器独立放置传感器的优点。这允许将传感器板自由地安装在主机固定装置上的任何方便的点。

PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。

PU转换器由包括弯曲引导系统的单个金属部件组成。这种设计意味着PU平移台表现出极好的机械稳定性，并且因为它们是预加载的，所以可以动态地工作。FEA建模的挠性件保证了零摩擦和高鲁棒性。在高负载版本中，这些致动器可以支持高达240 N的负载，并产生40至100微米的单轴运动。它们很容易适应，因为它们既可以水平安装，也可以垂直安装。坚固耐用的设计使PU系列非常适合需要可靠的亚纳米精度的各种工业应用。