在《Light: Advanced Manufacturing》上发表的一篇新论文中,由余绍良博士和杜青阳博士领导的科学家团队开发出了新的封装技术。双光子光刻(TPL)是一种基于激光的技术,可用于创建分辨率极高的三维结构,它最近成为光子封装的一个前景广阔的解决方案,光子封装是将光子元件组装和连接成一个单一系统的过程。
GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本
更新时间:2024-04-19 14:40:59
GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本概述
GT系列的较新型号GT62A是第四代型号,采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率(90瓦),以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求,还提供60瓦版本的GT62A,以确保较大的投资回报。此外,GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术,从而较大限度地减少停机时间,以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受,其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台,因此较大限度地实现了标准化,并能够使用通用组件。因此,GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。
GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本参数
- 混合气体 / Gas Mixture: : ArF
- 波长 / Wavelength: : 193 nm
- 脉冲能源 / Pulse Energy: : 15mJ
- 平均功率 / Average Power: : 90W
- 最大重复率 / Max Repetition Rate: : 6000Hz
GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本规格书
GT62A 6千赫兹准分子激光器90W版本厂家介绍
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