传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
Cryslaser的CTH:YAG晶体概述
Ho:Cr:TM:YAG是一种高效率的激光材料,其激光波长为2.1µm。它在医学、军事、气象等领域有着广泛的应用。
Cryslaser的CTH:YAG晶体参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : Ho:Cr:Tm:YAG
- 水晶直径 / Crystal Diameter: : 6mm
- 水晶长度 / Crystal Length: : 120mm
- AR 涂层 / AR Coating: : One side, Both sides
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