传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
概述
KTP是一种非线性光学(NLO)材料,具有高的NLO系数、宽的透明范围和温度同步性,以及适中的光损伤阈值。单晶KTP通常用于激光辐射的有效非线性转换,较普遍的应用是用于二次谐波(SHG)。较大可用尺寸:20 X 20 X 20 mm。成品KTP光学元件可提供双窄带减反射膜。
参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : KTP (KTiOPO4)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Type I, Type II
- 安装 / Mounting: : Unmounted
- 宽度 / Width: : 20mm
- 高度 / Height: : 20mm
- 长度 / Length: : 20mm
- 平整度 / Flatness: : Not Available
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : Not Available
- AR 涂层 / AR Coating: : One side, Both Sides
规格书
厂家介绍
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LBO晶体——用于非临界相位匹配激光倍频的较佳非线性晶体LBO的较大优点是可以利用温度调谐来实现非临界相位匹配(NCPM)。当倍频过程中满足非临界相位匹配关系时,基频光与倍频二次谐波之间的走离角为0。此时LBO晶体的有效长度理论上可以达到无穷大,可以补偿其较小的非线性系数。由于其损伤阈值很大,这就意味着可以实现高功率的基波泵浦。因此,利用LBO晶体的非临界相位匹配进行脉冲激光的腔外倍频,将大大提高基频光的转换效率。频率光的光束质量和稳定性将大大提高。
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