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下载规格书 传统上，高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用，形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而，传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性，如干涉光刻。
全部产品分类
概述
参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : LBO (Lithium Triborate)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Not Applicable
- 安装 / Mounting: : Unmounted
- 宽度 / Width: : 3mm
- 高度 / Height: : 3mm
- 长度 / Length: : 10mm
- 平整度 / Flatness: : <= Lambda/10
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 20-10
- AR 涂层 / AR Coating: : One side
图片集
规格书
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图片名称分类制造商参数描述
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