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G300K 激光器模块和系统

G300K

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日本
厂家:Gigaphoton

更新时间:2024-04-19 14:40:59

型号: G300KGIGANEX系列新产品、下一代微细加工用300W KrF激光器。高输出、高可靠性且可减少COO的机型

G300K概述

KrF激光器“G300K”是加入GIGANEX产品阵容的一款新机型,它将微细等“加工优化”作为理念,在保持高输出、99%以上高开工率的同时,实现了客户ROI的最大化的型号。“G300K”采用累计出货量达900多台的本公司半导体光刻用KrF光源G41K作为基本平台,新开发并搭载了适合高输出的电源、激光室。从而为客户在半导体制造后端工序中下一代微细加工工序,通过提高生产性及减少COO以实现ROI的最大化提供帮助。

G300K参数

  • 波长 / Wavelength : 248 nm
  • 应用行业 / Application Industry : 下一代微细烧蚀加工

G300K详述

主要特点

高重复频率、高输出功率

作为加工用KrF激光器,“G300K”实现了唯一的4000Hz高重复频率、300W高输出功率。可以在传统UV激光器无法实现的区域进行各种微细烧蚀加工。

高开工率

作为半导体光刻KrF光源,“G300K”保持着具有900多台出货量的G41K的可靠性,实现超过99%的高开工率。

长寿命

具有可承受半导体制造光源所培养的生产性的模块寿命,同时拥有较长的维护周期,从而为客户提高成品率并降低维护成本提供帮助。

 

主要规格

规格项目*
振荡波长248 nm
平均输出75W300W
脉冲能量75mJ75mJ
振荡频率1000Hz4000Hz
用途下一代微细烧蚀加工

(*) 上述各规格值为代表值

G300K规格书

G300K厂家介绍

Gigaphoton Inc.是一家相对年轻的公司,成立于2000年,旨在整合小松公司在激光技术开发方面的多年经验和成就。

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