在一种控制超短激光闪光的创新方法中,拜罗伊特大学和康斯坦茨大学的研究人员正在使用孤子物理学和单个激光中的两个脉冲梳。该方法有可能大大加快和简化激光应用。
G300K
更新时间:2024-04-19 14:40:59
G300K概述
KrF激光器“G300K”是加入GIGANEX产品阵容的一款新机型,它将微细等“加工优化”作为理念,在保持高输出、99%以上高开工率的同时,实现了客户ROI的最大化的型号。“G300K”采用累计出货量达900多台的本公司半导体光刻用KrF光源G41K作为基本平台,新开发并搭载了适合高输出的电源、激光腔室。从而为客户在半导体制造后端工序中下一代微细加工工序,通过提高生产性及减少COO以实现ROI的最大化提供帮助。
G300K参数
- 波长 / Wavelength : 248 nm
- 应用行业 / Application Industry : 下一代微细烧蚀加工
G300K详述
主要特点
高重复频率、高输出功率
作为加工用KrF激光器,“G300K”实现了唯一的4000Hz高重复频率、300W高输出功率。可以在传统UV激光器无法实现的区域进行各种微细烧蚀加工。
高开工率
作为半导体光刻KrF光源,“G300K”保持着具有900多台出货量的G41K的可靠性,实现超过99%的高开工率。
长寿命
具有可承受半导体制造光源所培养的生产性的模块寿命,同时拥有较长的维护周期,从而为客户提高成品率并降低维护成本提供帮助。
主要规格
规格项目 | 值* | |
---|---|---|
振荡波长 | 248 nm | |
平均输出 | 75W | 300W |
脉冲能量 | 75mJ | 75mJ |
振荡频率 | 1000Hz | 4000Hz |
用途 | 下一代微细烧蚀加工 |
(*) 上述各规格值为代表值
G300K规格书
G300K厂家介绍
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