激光气体分析仪可进行高灵敏度和高选择性的气体检测。这种检测方法的多组分能力和宽动态范围有助于分析浓度范围较宽的混合气体。由于这种方法无需进行样品制备或预浓缩,因此易于在实验室或工业中采用。
概述
XLR 700d 为芯片制造商提供了更严格的带宽控制(300 +/-5fm),从根本上消除了带宽作为晶圆上性能工艺变化来源的问题。Cymer 的专利技术在逐个脉冲的基础上应用高速闭环控制,从而实现极其稳定的性能。
参数
- 波长 / Wavelength : 193 nm
- 功率 / Power : 45-90 W
详述
其他参数
ChamberDual Ring
Bandwidth ControlDynaPulse™
规格书
厂家介绍
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