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EX5 激光器模块和系统

EX5

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美国
厂家:GAM LASER

更新时间:2023-02-07 15:08:56

型号: EX56W of deep UV (193nm) in 1.4 cubic feet, 15kg

概述

来自GAM激光器的EX5是波长为157、193、248、308、351nm的激光器,功率为0.4至0.65W、2.5至5W、4至8W、1.4至2.5W、1.3至2.4W(F2、ARF、KrF、XeCl、XeF),输出功率(脉冲)为0.4至0.65W、2.5至5W,1.3至2.4W(F2、ARF、KrF、XeCl、XeF),脉冲能量1.5、12、20、8、6mJ(F2、ARF、KrF、XeCl、XeF)。EX5的更多细节可以在下面看到。

参数

  • 类型 / Type : Laser System
  • 技术 / Technology : Excimer Laser, Gas Laser
  • 工作模式 / Operation Mode : Pulsed Laser
  • 超快激光 / Ultrafast Laser : Nanosecond Lasers
  • 可调谐 / Tunable : No
  • 激光颜色 / Laser Color : Ultraviolet
  • 增益介质类型 / Gain Medium Type : Gas
  • 激光增益介质 / Laser Gain Medium : F2, ArF, KrF, XeCl, XeF
  • 应用行业 / Application Industry : Semiconductors & Microelectronics, Medical, Scientific

规格书

厂家介绍

Manufactures excimer and fluoride lasers for medical, industrial, and scientific applications. Air- and water-cooled units available with long gas lifetimes.

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