QD20401SX

稳定性和耐用性是准分子激光器较大的技术挑战，因为它使用氟、高压放电和深紫外线，所有这些都是高活性的。除了稳定性和耐用性外，用于光刻工具的准分子激光光源还需要激光束的高单色性和输出能量的高均匀性。作为世界上先进个满足所有这些要求的准分子激光光源，G10K自1997年上市以来，在光刻光源市场上赢得了极高的声誉。这一模式仍在世界各地的实地运作。

我们的窄扫描染料激光器是我们的窄扫描的紧凑型版本。规格是一样的。欲了解更多信息，请参阅PDF。

波长: 1053 nm

来自Eksma Optics的Quantas EO-Q1C-YLF是波长为1053 nm、脉冲能量为1至20 MJ、工作温度为15至30摄氏度的激光器。Quantas EO-Q1C-YLF的更多细节可以在下面看到。

波长: 795 to 810 nm

Sacher Lasertechnik的TEC-200-0800-1000是一种波长为795至810 nm、功率为1000 MW、输出功率（CW）为1000 MW的激光器。有关TEC-200-0800-1000的更多详细信息，请参阅下文。

波长: 880 nm

LaserGlow Technologies的D8B25B5FX是一款波长为880 nm、功率为2500 MW、输出功率（CW）为2500 MW、工作温度为-10至35摄氏度、存储温度为-10至50摄氏度的激光器。有关D8B25B5FX的更多详细信息，请参见下文。