RLTMRL-671-50

GT系列的较新型号GT62A是第四代型号，采用相同的注塑锁定平台。它提供世界上较高的输出功率（90瓦），以支持双图案浸没式光刻*。为了满足各种客户需求，还提供60瓦版本的GT62A，以确保较大的投资回报。此外，GT62A采用了可延长激光室和光学器件使用寿命的技术，从而较大限度地减少停机时间，以更低的经济风险支持较先进的处理。GT系列已经被全球半导体行业的主要用户所接受，其设计理念和可靠性广受好评。GT62A基于相同的平台，因此较大限度地实现了标准化，并能够使用通用组件。因此，GT62A的用户可以从一开始就受益于其高可靠性优势。

波长: 635 to 638 nm

来自MKS|Newport的TLB-6704是波长为635至638 nm、功率为8 MW、输出功率（CW）为8 MW的激光器。有关TLB-6704的更多详细信息，请参见下文。

波长: 213 to 1064 nm

Lotis TII的LS-2151是一款锁模和Q开关MOPA Nd：YAG激光器，工作波长为1064、532、355、266和213 nm.它的输出能量为3-75mJ，脉冲宽度为70-80FWHM，脉冲重复频率为15Hz.该激光器产生直径高达9mm的光束，光束发散度为0.7mrad，脉冲能量稳定性为10%RMS.它集成了全固态主振荡器（Mo）、双通放大器（PA）、内置二次谐波发生器、TEM00主振荡器和PC软件远程控制。该激光器具有用于激光调节和脉冲持续时间监控（可选）的可选自相关器、内置瞄准激光器以及Mo、PA和SH能量监控。它采用激光头模块，尺寸为650 X 344 X 143 mm，需要220 V的交流电源，电流消耗为10 A.

波长: 532 nm

Picotronic的LD532-30-24（40x210）是一款波长为532 nm、功率为30 MW、输出功率（CW）为30 MW、工作温度为15至30摄氏度、存储温度为-40至80摄氏度的激光器。有关LD532-30-24（40x210）的更多详细信息，请参见下文。

波长: 488 nm

Omicron-Laserage的LUXX+®488-100是一款波长为488 nm、功率为100 MW、输出功率（CW）为100 MW的激光器。有关LUXX+®488-100的更多详细信息，请参阅下文。