超薄XY轴电动线性平台 - PMG413（集成直线球导轨）

M3-RS-U-360旋转载物台定位模块是一款微型“一体式”旋转定位载物台，内置控制器。内置嵌入式控制器的精密智能舞台仅有12毫米直径X 12.5毫米高。它使用电池供电，非常适合用于微型仪器和手持设备。压电台提供连续360°旋转和绝对位置反馈。专利压电电机以及位置传感器，轴承，驱动电子设备和嵌入式固件都集成到这个旋转微型平台。

Suruga Seiki Kreseries电动旋转台非常适合需要良好精度和相对较大范围的应用。这些电动旋转台在激光光学、光谱学、显微镜和计量应用中特别受欢迎。无论您是在研发或工业环境中工作，还是为您的运动控制应用寻找OEM解决方案，骏河精机都能为您的应用提供合适的解决方案。我们的产品在日本制造，并经过严格的质量控制，以满足客户的需求。

LM2系列级专为各种应用而设计。这种紧凑的低轮廓线性平台是为高占空比和长寿命而构建的，并为工厂自动化和半导体加工设备实现了高速度。该平台具有卓越的精度、可重复性、平面度和平直度。循环滚珠线性方式和精密研磨滚珠丝杠提供极其平稳的操作和速度控制。侧面密封和硬盖使其成为肮脏环境的绝佳选择。LM2系列载物台可以堆叠以创建XY运动。

设计特点行程范围为100µm至600µm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供亚纳米级性能。各种行程（100µm至600µm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，这些载物台的设计旨在提供出色的几何性能（直线度和角度误差），同时较大限度地减小整个载物台封装尺寸、高分辨率和定位精度。所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括XY和Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

较小的全功能显微操作器在所有三/四轴上提供20毫米的精确压电运动。