TBR和TBRF系列电动旋转台

如需了解更多有关真空系统的基础知识以及在收集应用要求时需要考虑的事项，请阅读我们的技术文章“真空应用的运动设备设计注意事项”。Zaber的X-LRQ-SV2系列设备是高真空、计算机控制、电动线性平台，具有高刚度、高负载和高寿命能力，尺寸紧凑。它们是独立的装置，只需要标准的24 V或48 V电源。这些级连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口，并且它们可以与任何其他Zaber产品进行菊花链连接。菊花链还可以共享电源，使多个X系列产品可以共享一个电源。这些真空级高度仅为36 mm，非常适合需要低轮廓的应用。X-LRQ-SV2的创新设计允许速度高达205 mm/s，负载高达100 kg。与Zaber的所有产品一样，X-LRQ-SV2系列采用“即插即用”设计，非常易于设置和操作。这些载物台可以用螺栓固定在XY系统中。

设计特点从10μm到40μm的闭环行程直接驱动执行机构可实现快速响应时间和更高的吞吐量工艺高精度、无摩擦弯曲导向延长器件寿命通过直接计量电容传感器选项实现卓越的定位分辨率和线性度开环和真空版本SAEROTECH的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中同时提供平台和执行机构的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力，非常适合各种高速和高精度应用，如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快，精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构，可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下，QNPHD提供了高动态性能，同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能（平直度和角度误差）。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈（-C）选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项，以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置，而不需要设计各种适配器板和支架，这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。

长行程电动线性平台8MT295系列平台设计用于提供高速运动。标准电机允许移动高达60公斤的负载。使用功率更大的电机可以提高负载能力。该级提供中等分辨率和精度。8MT295系列载物台配有3P295平台、3BP295底板（2块）和适量的3SN195嵌件。8MT295系列工作台的分辨率和速度可以通过选择合适的滚珠丝杠节距来改变。有几个标准选项可供选择，应在订购时指定。

Zaber的TSB系列平移平台是滚珠轴承线性平台，行程为28 mm或60 mm。它们与我们的T-NA系列微型线性致动器、T-LA系列微型线性致动器和我们的NA11系列步进线性致动器兼容，可用于XY平台配置。带有手动千分尺测头的版本具有25 mm或50 mm的行程和0.01 mm的分辨率。它们也可以直接安装在XY配置或带有AB90E（英制）角托架或AB90M（公制）角托架的XYZ配置中。

由于其紧凑的设计，低成本的VT-21S线性平台在空间非常有限的应用中表现出色。该平台采用两相步进电机，并配有两个机械限位开关。预加载球滑块创造了高刚度和卓越的性能。VT-21S配有分辨率为0.05µm的可选线性编码器。载物台可安装在XY或XYZ配置中，以节省空间。可提供能够在真空（10-6 mbar）中操作的版本。VT-21S与MMC-200控制器兼容。