传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
全部产品分类
概述
参数
- 水晶类型 / Crystal Type: : CdSe (Cadmium Selenide)
- 相位测量类型 / Phase Mathcing Type: : Not Applicable
- 安装 / Mounting: : Unmounted
- 宽度 / Width: : 60mm
- 高度 / Height: : 60mm
- 长度 / Length: : 6mm
- 平整度 / Flatness: : <= Lambda/8
- 表面质量 / Surface Quality (Scratch-Dig): : 60-40
- AR 涂层 / AR Coating: : Not Coated
图片集
规格书
相关产品
图片名称分类制造商参数描述
- AgGaSe2 Crystal晶体BoJen Optics, Inc.
AgGaSe2(AgSe)晶体在0.73um和18um处具有带边。当被各种不同的激光器泵浦时,其适用的传输范围0.9-16um和宽的相位匹配能力为OPO应用提供了极好的潜力。
- BaF2 Crystal by GB Group晶体GB group, Inc.
氟化钡(BaF2)单晶是一种优良的光学晶体。它的传输范围是从红外到红外。也是一种优良的闪烁材料。
- Cross Polarized Light Generation Crystal - BaF2 - 540-7105 Series晶体Altos Photonics, Inc.
交叉极化波(XPW)的产生是一个非线性三阶过程,在此过程中基波和产生的波具有相同的频率。然而,所产生的波与泵浦波偏振垂直偏振。在XPW产生过程中,相位匹配发生在大带宽上。这意味着基波和XPW具有相同的相速和群速。交叉极化波(XPW)的产生过程由晶体的三阶非线性和张量的各向异性驱动。用于交叉偏振波(XPW)产生的典型光学材料是具有Z(-#91;001-#93;)或全息(-#91;011-#93;)晶体取向的氟化钡(BaF2)晶体。理论预测,当使用-#91;011-#93;-切割BaF2晶体时,较大XPW能量转换效率约为35%,伴随的脉冲缩短因子为√3,对应于纯三阶非线性过程。
- LBO Crystal晶体CRISTAL LASER SA
LBO晶体(三硼酸锂)是高功率激光器的优选非线性光学材料,具有以下主要特点:高体损伤阈值小走离角非临界相位匹配倍频晶体的可能性高透明度的紫外线,使其成为THG 355nm或THG 343nm的较佳选择FHG 266nm的SFM可能性
- Stoichiometric Lithium Tantalate晶体Isowave
化学计量的钽酸锂(SLT)优于共晶生长的钽酸锂(CLT),因为它更接近锂与钽的理想比例(50:50)。该改进的比率为晶体提供了低得多的缺陷密度,从而减少了光学损伤的机会并改进了UV透射率,同时具有更大的非线性和电光系数。当在准相位匹配应用中使用时,SLT在周期性极化过程中需要显著更少的电压,从而允许制造更厚的芯片。
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