高真空电动线性平台X-LSM050A-SV2

设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

具有6mrad运动范围的快速倾斜纳米定位压电台。它经过优化，可与1“、2”和3"反射镜配合使用。

与8MT167-25LS不同，电动平移台8MT167-25BS1专为高速移动而设计。使用滚珠轴承丝杠，使运动快速平稳。定位器也可与XY轴上的显微镜一起使用。如图所示，上板的中心有一个可拆卸的插入物，尺寸为2英寸，底板的插槽尺寸为51 X 76 mm，在同一垂直方向上。线性电机定位平台提供高分辨率运动以及高稳定性性能。

Zaber的TSB系列平移平台是滚珠轴承线性平台，行程为28 mm或60 mm。它们与我们的T-NA系列微型线性致动器、T-LA系列微型线性致动器和我们的NA11系列步进线性致动器兼容，可用于XY平台配置。带有手动千分尺测头的版本具有25 mm或50 mm的行程和0.01 mm的分辨率。它们也可以直接安装在XY配置或带有AB90E（英制）角托架或AB90M（公制）角托架的XYZ配置中。

Zaber的X-RST-DE系列产品是电动旋转舞台设备，内置控制器和直读编码器，可实现高精度运动。它们的额定中心负载能力为50 kg，扭矩为10 N-m，是高负载、高精度、角度定位应用的理想选择。它们是独立的装置，只需要标准的24-48 V电源。索引旋钮可在两个方向上以可变速度提供平滑的手动控制，即使在没有计算机的情况下也可进行多功能操作。按住可在速度模式和位置模式之间切换，转动可移动载物台，按下可停止。该级连接到任何计算机的USB 2.0或RS-232端口，并且每个链可以链接多个单元。它们可以与任何其他Zaber产品链接。方便锁定，4针，M8连接器的单位允许方便和安全的连接。链也共享电源，因此多个X系列产品可以使用单个电源。