德克萨斯大学、Tau Systems 公司及其合作伙伴演示可产生 10 GeV 电子束的紧凑型粒子加速器。
概述
GT系列的较新型号GT63A是第五代型号,采用相同的注锁平台。GT63A安装了四个“S”系列功能,旨在满足客户创造额外价值的需求:SMPL(光谱多定位LNM)*1,先进客户认可的光谱控制(“聚焦钻孔”)技术,以实现更广泛的焦深;SGRYCOS(Sixty Gigaphoton Recycled Chamber Operation System),一种可降低运营成本的独特舱室技术;STGM(Supreme Total Gas Manager),一种气体管理系统,可在使用更少工艺气体的同时实现更高的正常运行时间;以及SMonitoring(智能监控),实时信息管理跟踪市场上较高的激光稳定性。GT系列已被我们的主要客户广泛接受;以其设计理念和高可靠性享誉全球。GT63A的设计平台与以前的GT系列型号相同,以便使用尽可能多的通用组件,从而确保在引入客户现场后立即获得高可靠性。
参数
- 混合气体 / Gas Mixture: : ArF
- 波长 / Wavelength: : 193 nm
- 脉冲能源 / Pulse Energy: : 15mJ
- 平均功率 / Average Power: : 90W
- 最大重复率 / Max Repetition Rate: : 6000Hz
规格书
厂家介绍
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