Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料
更新时间:2024-04-19 14:40:59
Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料概述
EUV光刻机面临的较大问题是解决RLS权衡:同时提高分辨率、线宽粗糙度(LWR)和光敏性。AL412旋涂辅助层材料已经显示出降低线边缘粗糙度(LER)和图案塌陷、平坦化形貌、保护下面的层免受高能EUV光子损伤、改善粘附性以及改善图案转移蚀刻选择性。
Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料参数
- 服务类型 / Type Of Service: : Engineering design
Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料图片集
Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料规格书
Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料厂家介绍
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