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Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料 设计与制造

Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料

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美国
分类:设计与制造

更新时间:2024-04-19 14:40:59

型号:

Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料概述

EUV光刻机面临的较大问题是解决RLS权衡:同时提高分辨率、线宽粗糙度(LWR)和光敏性。AL412旋涂辅助层材料已经显示出降低线边缘粗糙度(LER)和图案塌陷、平坦化形貌、保护下面的层免受高能EUV光子损伤、改善粘附性以及改善图案转移蚀刻选择性。

Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料参数

  • 服务类型 / Type Of Service: : Engineering design

Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料图片集

Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料图1
Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料图2
Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料图3

Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料规格书

Brewer Science E2Stack AL412 EUV辅助层材料厂家介绍

Brewer Science在开发和制造用于可靠制造高端微器件的先进材料和设备方面处于全球领先地位。

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