全部产品分类
193纳米高重复型GIGANEX 600W型激光器 激光器模块和系统

193纳米高重复型GIGANEX 600W型激光器

分类: 激光器模块和系统

厂家: Gigaphoton Inc.

产地: 日本

更新时间: 2024-08-30 07:14:09

立即咨询 获取报价 获取报价 下载规格书 下载规格书
收藏 收藏

概述

我们相信,通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术,并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合而新创建的Giganex,也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新,作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的,并且是为较大限度的通用性而设计的,因此可以预期它是高度可靠的。此外,它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点,有望实现更适合激光退火的设计。

参数

  • 混合气体 / Gas Mixture : ArF
  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 脉冲能源 / Pulse Energy : 100mJ
  • 平均功率 / Average Power : 600W
  • 最大重复率 / Max Repetition Rate : 6000Hz
  • 脉宽 / Pulse Duration : 70ns

规格书

下载规格书

厂家介绍

2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

相关产品

图片 名称 分类 制造商 参数 描述

相关文章

  • 半导体激光器波长选择与技术参数全攻略

    半导体激光器波长是其核心特性之一,决定了其在医疗、工业和科研等多个领域的应用。选择合适的波长对于确保激光器性能至关重要,需考虑阈值电流、工作电流和光束质量等参数。随着技术的不断进步,半导体激光器在提供高功率输出的同时,也保证了光束的稳定性和质量,满足各种精密应用的需求。

  • 激光芯片和普通芯片区别与微纳技术革新:Bright Microlaser SB1-1064-15-15的高精度突破

    在自动驾驶与量子计算推动下,芯片迈向 “光时代”。激光芯片与普通芯片差异显著,Bright Microlaser 的 SB1-1064-15-15 微芯片激光器为高精度场景提供方案。

  • 用于全光开关和脉冲激光器的超快等离子体

    等离子体在推进纳米光子学方面发挥着至关重要的作用,因为等离子体结构表现出广泛的物理特性,这些特性得益于局部和强化的光-物质相互作用。这些特性在许多应用中得到了利用,如表面增强拉曼散射光谱、传感器和纳米激光器。

  • 什么是用于医学诊断的生物光子传感器?

    生物光子学一般是指将光子学概念用于生物医学应用,如研究组织、细胞和其他生物过程。本文讨论了生物光子传感器在医学诊断中的应用、功能和最新进展。

立即咨询

加载中....