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193纳米高重复型GIGANEX 600W型激光器 激光器模块和系统

193纳米高重复型GIGANEX 600W型激光器

分类: 激光器模块和系统

厂家: Gigaphoton Inc.

产地: 日本

更新时间: 2024-08-30 07:14:09

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概述

我们相信,通过整合Gigaphoton从制造准分子激光器作为半导体光刻光源中获得的技术和专有技术,并将该技术和专有技术与其客户的技术相结合而新创建的Giganex,也可以在半导体光刻以外的领域产生新的创新,作为高性能DUV光源。由于Giganex系列是在Gigaphoton&Aposs GT平台上设计的,并且是为较大限度的通用性而设计的,因此可以预期它是高度可靠的。此外,它继承了GT系列的高输出和高振荡频率的特点,有望实现更适合激光退火的设计。

参数

  • 混合气体 / Gas Mixture : ArF
  • 波长 / Wavelength : 193 nm
  • 脉冲能源 / Pulse Energy : 100mJ
  • 平均功率 / Average Power : 600W
  • 最大重复率 / Max Repetition Rate : 6000Hz
  • 脉宽 / Pulse Duration : 70ns

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厂家介绍

2000年,Giga photon Inc .公司是一家支持半导体产业的前沿技术公司。自从Giga photon创立以来,Giga photon就一直在开发和营销人性化、高创新性的激光光源,并将其传递给全球半导体行业的主要光刻工具供应商。 此外,他们还积#较好#力于作为下一代光刻光源的极紫外( EUV )光源的开发和批量生产。吉格光子已经成长为包括日本在内的亚洲市场的霸主,拥有包括该地区大多数主要半导体器件制造商在内的大量安装基地,成为全球领先的准分子激光光源制造商。吉格光子在美国和欧洲市场也继续快速增长。

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