传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
概述
Nd:GdVO4晶体是优良的激光晶体。它们具有良好的物理、光学和机械性能,是二极管泵浦固体微小型激光器理想的激光基质材料。它们比Nd:YAG晶体具有更高的斜率效率,比Nd:YVO4晶体具有更好的热导率和更高的功率输出,因此它们是高功率输出DPSS激光器的良好选择。使用先进的生长技术,CASIX提供了Nd掺杂从0.1atm%到4.0atm%的高等级Nd:GdVO4晶体。此外,还可提供各种尺寸和涂层的晶体组件。
参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : Nd:GdVO4
- AR 涂层 / AR Coating: : Uncoated
规格书
厂家介绍
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