传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
概述
参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : Nd:YVO4
- AR 涂层 / AR Coating: : One side, Both sides
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Nd:Ce:YAG是一种优良的激光材料,可用于无水冷却和微型激光系统。在相同泵浦条件下,Nd:Ce:YAG的热畸变明显小于Nd:YAG,输出激光能量大于Nd:YAG(30%~50%)。它是空气冷却激光器较理想的激光材料,也适用于不同工作模式(脉冲、调Q、锁模)和高平均功率激光器。
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Nd:YAG晶体是研发、医疗、工业和军事客户采用较早、较成熟的激光材料。近红外固体激光器及其倍频器、三倍频器和高次倍频器普遍存在。
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Nd:YVO4是目前商用较有前途的二极管泵浦固体激光材料之一。Nd∶YVO4晶体在激射波段具有大的受激发射截面,在泵浦波段具有高的吸收系数和宽的吸收带宽,高的激光损伤阈值,以及良好的物理、光学和机械性能,使其成为高功率、高稳定性、高性价比二极管泵浦固体激光器的理想工作晶体。Nd:YVO_4可以通过较小的不同设置产生红外绿光和蓝光激光。中心位于808nm的宽吸收带和良好的机械性能使Nd:YVO4非常适合用于紧凑、高效、高功率的二极管泵浦激光器。自然双折射在1064.3和1342nm产生高偏振输出。
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