传统上,高功率193纳米(nm)激光器在光刻中起着关键作用,形成了用于精确图案的系统的组成部分。然而,传统ArF准分子激光器的相干性限制阻碍了它们在需要高分辨率图案的应用中的有效性,如干涉光刻。
拓达公司的Nd:YAG+Cr4+:YAG扩散结合晶体概述
拓达公司的Nd:YAG+Cr4+:YAG扩散结合晶体参数
- 水晶类型 / Type Of Crystal: : Nd:YAG, Cr:YAG
- 水晶长度 / Crystal Length: : 200mm
- AR 涂层 / AR Coating: : One side, Both sides
拓达公司的Nd:YAG+Cr4+:YAG扩散结合晶体规格书
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Nd:YAG激光晶体L(掺钕钇铝石榴石;Nd:Y3Al5O12)用作固体激光器的激射介质。掺杂物通常约为1%。使用闪光灯或激光二极管对Nd:YAG激光晶体进行光学泵浦。它们是较常见的激光器类型之一,用于许多不同的应用。Nd:YAG激光器通常发射波长为1064 nm的红外光。然而,在940、1120、1320和1440nm附近也存在跃迁。Nd:YAG激光器有脉冲和连续两种工作模式,Nd:YAG主要在730-760nm和790-820nm波段吸收。在低电流密度下,氪闪光灯在这些波段比更常见的氙气灯具有更高的输出,氙气灯在900nm左右产生更多的光。因此,前者对于泵浦Nd:YAG激光器更有效。材料中钕掺杂剂的量根据其用途而变化。对于连续波输出,掺杂显著低于脉冲激光器。轻掺杂的CW棒可以通过较少的颜色(几乎是白色)来光学区分,而较高掺杂的棒是粉红色-紫色的。
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Yb:YAG是较有前途的激光材料之一,比传统的掺钕系统更适合于二极管泵浦。与该公司使用的Nd:YAG晶体相比,Yb:YAG晶体具有更大的吸收带宽,以降低二极管激光器的热管理要求,更长的激光上能级寿命,单位泵浦功率的热负载低三到四倍。
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Yb:YAG晶体是较有前途的激光工作物质之一,比传统的掺钕系统更适合二极管泵浦。它可以在0.94μm泵浦下产生1.03μm的激光输出。1030nm的Yb:YAG晶体是1064nm的Nd:YAG晶体的良好替代品,其515nm的二次谐波可以取代514nm的氩离子激光器(体积较大)。Yb:YAG晶体有望取代Nd:YAG晶体用于高功率二极管泵浦激光器和其他潜在的应用。
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