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458型用于晶圆步进机的紫外线高强度和能量测量仪 激光能量计

458型用于晶圆步进机的紫外线高强度和能量测量仪

分类： 激光能量计

厂家： OAI

产地： 美国

更新时间： 2024-08-26 03:00:45

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概述

基于微处理器的458型UV光强度和能量系统精确地描绘曝光能量（剂量），以评估步进机的性能。它设计用于ASML高强度、佳能、尼康和Ultratech高强度晶片步进机。读取365、400、420和436 nm波长的强度、能量和时间（4000 MW/cm²，999.9 MJ/cm²）。可选的RS232电缆可与458软件配合使用，将剂量数据发送到计算机。

参数

  • 最大可测量能量 / Max Measurable Energy : 9999mJ
  • 光谱范围 / Spectral Range : 0.365 - 0.436 um

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厂家介绍

当涉及到紫外线仪器和曝光系统时，人们已经依赖OAI超过35年了。我们的全球声誉是因为我们有足够的资源来设计和制造符合您具体规格的紫外线仪器和系统。我们为服务和客户支持设定了行业标准。对于个人和OEM批量需求，请立即致电，了解OAI如何帮助满足您较苛刻的UV需求。

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图片 名称 分类 制造商 参数 描述
  • 200 kHz Energy Meter M6-12.5-PY 激光能量计 200kHz能量计M6-12.5-PY 激光能量计 Gentec-EO

    最大可测量能量: 200mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 12.5mm

    以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

  • 200 kHz Energy Meter M6-6-In 激光能量计 200 kHz能量计M6-6-In 激光能量计 Gentec-EO

    最大可测量能量: 200mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm

    以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

  • 200 kHz Energy Meter M6-6-In-L 激光能量计 200kHz能量计M6-6-In-L 激光能量计 Gentec-EO

    最大可测量能量: 2mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm

    以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

  • 200 kHz Energy Meter M6-6-PY 激光能量计 200 kHz能量计M6-6-PY 激光能量计 Gentec-EO

    最大可测量能量: 20mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm

    以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

  • 200 kHz Energy Meter M6-6-Si 激光能量计 200 kHz能量计M6-6-Si 激光能量计 Gentec-EO

    最大可测量能量: 200mJ 最大重复率: 200000Hz 有效光圈: 6mm

    以马赫数6测量高达200 kHz的每个脉冲。以12位数字精度进行测量，并实时捕获多达400万个脉冲。我们的马赫数为6的焦耳计是世界上先进能达到这种速度和精度的仪器。它旨在支持我们的全套快速能量探测器，包括硅、InGaAs和热释电探测器。测量范围为PJ至MJ和0.35至2.5μm。使用M6-Si探测器和M6-UV-QED附件，您可以在266 nm处进行相对测量。

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