电机和驱动器

PZ 10压电齿轮台提供高达10μm的垂直行程。作为固态现象的结果，分辨率实际上是无限的，低至亚纳米范围。基于柔性铰链的有限元分析设计的驱动系统保证了良好的制导精度，没有寄生运动。PZ 10级的耐用性使其成为工业应用中永久使用的绝佳选择。

凭借Microtritor和Minitritor系列，Piezosystem Jena提供较小尺寸的3D纳米定位平台。15x15x15 mm3的尺寸和每轴9µm的运动范围使Microtritor成为市场上较小的3D载物台。柔性铰链的独特设计可实现零摩擦的出色可用性。Minitritor的尺寸为19x19x16 mm3，可实现每轴38µm的行程。铰链挠曲设计提供完全无摩擦的运动，而没有任何机械游隙。高刚度与出色的运动平直度相结合，使TRITOR系列成为光学、激光技术和任何其他类型的高分辨率定位应用中纳米范围内高精度定位的理想选择。

USB-Slide是一种成本相对较低的精密线性运动系统。该系统仅由标准USB端口供电和控制，提供了尺寸、简单性和易用性无与伦比的线性运动控制方法。

PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。

PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。

压电环形致动器由大量接触的陶瓷环组成。基于他们的设计，他们提供了9毫米或14毫米的自由孔径。这使得它们特别适合集成到激光光束线中。环形执行机构有带外壳的RA系列和不带外壳的R系列。R系列执行机构没有预加载。对于动态应用，必须对这些致动器进行预加载。RA系列执行器由机械弹簧进行内部预加载，使其成为动态应用的理想选择。配备应变计传感器的闭环版本也是可用的。

压电环形致动器由大量接触的陶瓷圆盘组成。与管式作动器相比，环形作动器的刚度更高，膨胀量是管式作动器的两倍。环形作动器有带外壳的（RA系列）和不带外壳的（R系列）。无外壳的执行机构仅在陶瓷顶部和接地板处连接。带外壳的执行机构在钻孔处用螺钉固定。没有外壳的环形致动器只能用于具有额外预载的动态应用中。RA系列的环形致动器可根据要求提供应变仪反馈传感器。

工作电压0至1000V。使用寿命长，无降额。大位移，低电容。亚纳米分辨率，µs响应。集成温度传感器，防止过热损坏。极高的可靠性：>109次循环。

工作电压0至1000V。使用寿命长，无降额。高比排量。高级部队。亚纳米分辨率，µs响应。工作温度范围-20至85°C。

工作电压0~1000V。使用寿命长，无降额。高比排量。机械预载可以通过内孔连接。

PXY 100系列系统非常适用于光学元件（如反射镜和激光二极管）的纳米精度定位、半导体技术和电子设备的调整和安装，以及测量技术和质量保证以及微生物学的应用。PXY 100系列由舞台设计的压电致动器组成，配有坚固的顶板和底板，可轻松集成到光学设置中。单片柔性铰链设计提供了高精度运动范围、高刚度，并且由于这种出色的动态性能，可实现极快和精确的定位任务。

P系列致动器基于多层技术制成的堆叠式致动器。它们没有机械预载，但仍然可以承受中等压力。它们只能在静态应用程序中使用。压电堆封装在不锈钢外壳中，顶部和底部为环氧树脂，以消除机械间隙。为了保护陶瓷多层致动器，它们填充有柔性硅橡胶材料。多层堆叠致动器提供亚毫秒响应和亚纳米分辨率。

NPS-Z-15L是一款针对高负载应用而优化的压电扫描台。NPS-Z-15L提供超过15μm的闭环行程，具有亚纳米分辨率和稳定性。该平台专为高刚度设计，可承载高达500 kg的负载。优化的机械设计产生了空载谐振频率大于8000Hz的器件。超级殷钢结构意味着舞台具有非常高的热稳定性和环境稳定性。通过闭环PID电子设备进行动态优化，较大限度地提高系统的现场步进响应和位置稳定性。电子配置可提供多达3个或6个阶段的独立控制，非常适合大型光学器件或晶片/掩模器件的对准/调平。

PU转换器由单个金属部件组成，该金属部件包括弯曲引导系统。这种设计意味着PU平移台表现出极好的机械稳定性，并且因为它们是预加载的，所以可以动态地工作。FEA建模的挠性件保证了零摩擦和高鲁棒性。在高负载版本中，这些致动器可以支持高达240 N的负载，并产生40至100微米的单轴运动。它们很容易适应，因为它们既可以水平安装，也可以垂直安装。坚固耐用的设计使PU系列非常适合需要可靠的亚纳米精度的各种工业应用。

PU转换器由包括弯曲引导系统的单个金属部件组成。这种设计意味着PU平移台表现出极好的机械稳定性，并且因为它们是预加载的，所以可以动态地工作。FEA建模的挠性件保证了零摩擦和高鲁棒性。在高负载版本中，这些致动器可以支持高达240 N的负载，并产生40至100微米的单轴运动。它们很容易适应，因为它们既可以水平安装，也可以垂直安装。坚固耐用的设计使PU系列非常适合需要可靠的亚纳米精度的各种工业应用。

致动器提供非常坚硬的设计，能够产生高达1000N（MTP-15）的阻挡力。这一特性使致动器能够在Z轴上驱动较大10kg（MTP-15）的负载。在标称范围内驱动MTP执行器只需要一个0V至120VDC高压放大器。但是，如果需要，可以通过使用-30V至150VDC的高压放大器来实现额外的范围。如果需要小尺寸和闭环性能，MTP可以与Queensgate的位置测量系统结合使用。这提供了用于亚纳米精度的电容性位置感测，具有与致动器独立放置传感器的优点。这允许将传感器板自由地安装在主机固定装置上的任何方便的点。

PSH 1至PSH 4系列基于压电直接驱动系统。这些系统的构造类似于三脚架配置。PSH 1至PSH 4系统可同时控制所有三个执行器。可实现33µm范围内的Z轴活塞运动。有两种不同的托板尺寸可供选择。“A”型的尺寸为25 X 25mm²。顶板类型“B”，提供38 X 38mm²，主要设计用于1½"镜子。作为选项，集成反馈传感器在闭环控制下提供绝对、可重复的位置测量。

PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。

眼睛断层扫描以及白内障和屈光手术需要非常精确的激光束聚焦。MPS为一家眼科设备制造商开发了非常高精度的微型透镜致动器。这些执行机构由一个直径为6毫米的微型步进电机、一个预加载的螺杆螺母系统和一个线性导轨组成。该系统的设计方式使其能够补偿轴线对齐的缺陷。较严格的要求是在每次测量之间以1µm的精度找到原始位置。

M3-L是一个集成了驱动器和闭环控制的微型高分辨率定位系统。它以不到同类定位系统一半的尺寸和四分之一的重量提供0.5微米的分辨率。这款紧凑、功能强大的运动系统可帮助OEM设计人员在广泛的应用中提高性能并减小仪器的尺寸。它是光子学、微波和射频系统精密调谐的理想选择。国防应用包括激光束转向和瞄准，UAV和UGV飞行控制，以及用于生物医学和化学检测和分析的现场便携式系统。医疗应用包括微型手术设备和护理点系统。