叠加式执行器，无外壳 N 4/5

Verin Positionneur Hautes Précision/Températures

半封闭式音圈致动器（VCA）通过在装置中添加轴和自对准衬套，增强了基本的无框架VCA。引线也已升级为高柔性变体，以增加对磨损和撕裂的保护。根据执行机构的尺寸，有多种轴可供选择，包括外螺纹和内螺纹，以及标准的光滑轴。

压电环形致动器由大量接触的陶瓷圆盘组成。与管式作动器相比，环形作动器的刚度更高，膨胀量是管式作动器的两倍。环形作动器有带外壳的（RA系列）和不带外壳的（R系列）。无外壳的执行机构仅在陶瓷顶部和接地板处连接。带外壳的执行机构在钻孔处用螺钉固定。没有外壳的环形致动器只能用于具有额外预载的动态应用中。RA系列的环形致动器可根据要求提供应变仪反馈传感器。

PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。

PZ 10压电齿轮台提供高达10μm的垂直行程。作为固态现象的结果，分辨率实际上是无限的，低至亚纳米范围。基于柔性铰链的有限元分析设计的驱动系统保证了良好的制导精度，没有寄生运动。PZ 10级的耐用性使其成为工业应用中永久使用的绝佳选择。