电子源

Kimball Physics FRA-2X1-2电子枪及其匹配的EGPS-1011电源旨在用于各种UHV、表面物理、电荷中和和处理应用。它是一个完整的子系统，可随时连接到用户的真空系统并打开。束能量和束电流都可在宽范围内调节。FRA-2X1-2电子枪使用难熔金属阴极来产生均匀的泛光电子束。阴极是专门为低能量扩散而设计的。电子枪的设计允许产生低能量和极低电流的电子束。FRA-2x1-2可以在低至5eV的能量下产生适度的束流。它可以在5 eV和1000 eV时分别提供50μA和400μA的较大束流。FRA-2X1-2低能电子泛光枪采用平面三极管设计。加速栅在低能量下增强束流。由于施加到栅极的正电势（相对于阴极为0至+100V），可能在该栅极产生的二次电子不能离开电子枪。FRA-2x1-2电子枪在设计上增强了低能量下的泛光枪性能，在50eV下的半角发散度为11.5度。随着光束能量的增加，发散度降低。较大的斑点在低能量下可实现，但在较高能量下不一定可实现。

Kimball Physics ELG-2电子枪及其配套的EGPS-1022电源旨在用于电子受激脱附研究、二次电子发射系数测量研究、表面物理和其他真空物理研究。它是一个完整的子系统，可以随时连接和打开。射束能量、射束电流和光斑尺寸可在宽范围内独立调节。能量从1eV到2000eV是可变的，包括低范围以在较低能量下改进分辨率。通过使用多级和计算机设计的电子变焦透镜，在两个数量级的能量变化上保持恒定的束流，并且光斑尺寸也大致恒定。在2 cm工作距离和10 eV的条件下，该电子枪可以将1μA电流传输到大约1 mm的光斑中。电子枪使用单电位耐火阴极来产生低能量扩散的电子束。特高压技术贯穿始终。对于标准Ta圆盘阴极，电子枪可以在10-11托到10-5托的真空中运行。拆下电缆后，电子枪可烘烤至350°C。

Kimball Physics EGA-1012电子枪及其匹配的EGPS-1012电源旨在用于各种UHV、表面物理和处理应用，在这些应用中需要低能量的高束流。它是一个完整的子系统，可以随时连接和打开。射束能量、射束电流和射束发散度均可独立调节。EGA-1012电子枪使用空间电荷限制的氧化物涂层阴极来产生均匀的泛光电子束。这种设计允许产生低能量和非常低电流的射束。特高压技术贯穿始终。电子枪可在移除电缆的情况下烘烤高达350°C。标准阴极是高电流、坚固的氧化钇涂层盘（Y2O3）。当冷时，阴极不会因反复暴露于大气气体或水蒸气而损坏。电子枪可以在10-11托到10-5托的真空中运行。阴极寿命是与阴极温度相关的真空条件和束流的函数。在良好真空中的低电流下的阴极寿命可以是数百小时，或者甚至超过一千小时。

这是我们较受欢迎的中型系统，因为III-V和光子器件领域在比当前Si开发需求更小的晶片和批量尺寸下运行，这使得清洁泵送、手动装载的简单系统非常适合研发和生产。室18-22直径X 24-30高通常，更大的要求。CTI-8低温，双级旋转叶片式前级泵，一个速率控制器，多过程，热阻源可选，强大的PLC自动化与全手动操作，所有电动气动阀，SS歧管，电动起重机，各种夹具，包括旋转圆顶，行星齿轮和专用冷却，加热，阴影，提升。衬垫，RGA其他选项。