干涉仪

4“、5.2”和6"版本的相移斐索干涉仪

Zygo的VeriFire™干涉仪系统可对普莱诺或球面以及光学系统和组件的透射波前进行快速高精度测量。测量玻璃或塑料光学元件（如平面、透镜和棱镜），甚至精密加工的金属和陶瓷表面。VeriFire™系统采用真正的激光斐索设计，扩展了Zygo在表面形状计量方面无与伦比的经验。轴上配置与Zygo的专利采集算法和全功能MX™计量软件相结合，可实现具有高级分析功能的高精度表面形状计量。

Zygo的VeriFire™HD干涉仪系统提供平面或球面的快速高分辨率测量，以及光学元件和组件的透射波前测量。干涉腔长度被精确调制，同时高速相机捕捉多个条纹图像，这些图像由软件进行分析，以创建被测零件的高度详细的测量结果。

Zygo的新型VeriFire HDX干涉仪专为极高性能光学元件和系统的中间空间频率成分表征而设计和制造。该系统包括广受欢迎的VeriFire HD的所有强大功能（如QPSI和长寿命稳定激光器），并增加了重要的增强功能，如新的同类较佳成像和高仪器传递函数（ITF）分辨率、中间空间频率内容和高斜率表面偏差的卓越特性，以及Zygo的DynaPhase®动态采集技术（可选），该技术可消除振动引起的问题，并在几乎任何环境中实现精密计量。

Xonox VT1000 DL是一款精密干涉仪工作站，采用功能丰富的下视塔配置。集成的斐索干涉仪提供精确的表面计量，而集成空气轴承的天然花岗岩柱有助于精确的半径测量能力。下视配置较适合用于子孔径抛光技术。

Xonox VT1200和VT750代表了方便的仰视塔配置的精密干涉仪工作站。集成的Fizeau干涉仪提供了精确的表面计量，而集成空气轴承的天然花岗岩柱促进了精确的半径测量能力。工作站可以配置在集成触摸屏的节省空间的配置中，也可以配备单独的计算机手推车和双显示器。

固体标准具通常具有熔融石英衬底，其材料等级（例如UV-可见光或IR）取决于光谱区域。通常，对表面进行研磨、抛光和加工，使其平整度优于L/100，表面之间具有类似质量的平行度。电介质（或很少是金属）涂层提供所需精细度所需的反射率。

QIS干涉仪完全由QED技术公司设计、制造和建造。它针对拼接进行了优化，使客户能够测量更多零件，并提高了精度、速度和易用性。QED的QIS集成了硬件和软件功能，旨在增强QED计量产品的性能。专有的QIS相干成像系统允许用户获得更高的条纹密度和更大的对比度。QIS先进的光学设计减少了常见的误差，如回扫和放大误差。此外，QIS提供的更大的焦点行程允许测量比通用干涉仪更短半径的零件。QIS也使用与QED的Q-Flex™MRF™系统相同的软件平台QED.NET进行设计。这使得系统之间的无缝通信成为可能。新的1920 X 1920像素，高分辨率相机可以提高点测量能力。这意味着您可以更准确地表征MRF移除函数，使您能够做出更好的制造工艺决策，并更快、更准确地实现收敛。

C01是皮级干涉仪的标准传感头类型。由于其准直输出光束、紧凑的外形和各种定制选项，它适用于较常见的应用。每个传感器头（见图1）基于两个主要组件：准直光纤输出光束的透镜系统和将光束分为参考光束和探测光束的分束器。参考光束被内部参考镜反射，该内部参考镜被涂覆到分束器立方体的一侧。探测光束从头部射出并被目标表面反射，以跟踪其相对位移。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置，因为在这里探针和参考光束具有相等的长度。

C03是一种传感头类型，针对中等工作距离进行了优化，并使用回复反射器作为目标。探测光束被放大，使得其发散度减小，并且在目标反射镜处反射之后可以收集更多的光功率。C03传感头类型基于标准C01型传感头，包括光纤准直光学器件和分束器。分束器将光束分成参考光束和探测光束。参考光束被涂在分束器立方体一侧的内部参考镜反射。在C03传感器头中，探测光束在被望远镜（两个透镜）扩展后离开传感器头，以显著降低光束发散度。它被目标表面反射并跟踪其相对位移。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置，因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。

F01是具有聚焦探测光束的传感头类型。这允许测量小目标的位移。此外，传感器头提供高角度公差。如图1所示，在预准直之后，集成分束器将光分成参考光束和探测光束。参考光束被参考反射镜反射，该参考反射镜被涂覆到分束器立方体的一侧。探测光束由透镜系统聚焦并从头部射出。分束器的前表面标记每个皮级测量的绝对零位置，因为这里探测光束和参考光束具有相等的长度。因此，工作距离（WD）不等于距头部的距离（即焦距f），因为透镜系统仅集成到探测光束中。

L01是皮级激光干涉仪的传感头。目标光束用柱面透镜仅沿一个轴聚焦，从而产生线聚焦。这样，传感器头沿着聚焦轴具有相对大的角度工作范围，同时沿着正交轴具有大的直径。通常，这些传感器头用于测量旋转圆柱形物体的偏心运动，并且对其摆动（即旋转轴的倾斜/倾斜）不敏感。

高精度Fizeau Workshop干涉仪OWI 150 XT INVERS，用于测试球面和非球面表面。高精度运动学和高达Ø150 mm的工作范围使这台测量机成为生产高端光学产品不可或缺的工具。

这些高度集成的相移Twyman-Green干涉仪传感器可满足现代质量管理的较苛刻要求。结合μShape™测量和分析软件，这些高性能精密测量仪器可提供有关样品表面偏差或波前像差的信息。

这些高度集成的相移Twyman-Green干涉仪传感器可满足现代质量管理的较苛刻要求。结合µShapeTM测量和分析软件，这些高性能精密测量仪器可提供有关样品表面、波前或测试物镜像差的信息。

μPHASE®Universal针对研发中的测量进行了优化，是μPHASE®产品线中较灵活的仪器。水平设计能够测量尺寸、半径和材料不同的各种透镜和部件。

与传统的Fizeau仪器相比，Twyman-Green配置干涉仪具有几个重要的优势：振动不敏感测量可在具有挑战性的环境中使用，如Cryo-Vac测试或长测量路径。设计可以非常紧凑，可在狭小空间或难以接近的位置使用。轴上设计可提供出色的精度，尤其是在测量球形元件时。测试和参考之间的功率比以无损方式调整。PhaseCam动态Twyman-Green激光干涉仪可提供高分辨率测量，即使振动和空气湍流Dynamic Interferometry®使PhaseCams能够在30微秒内捕获完整的波前测量结果，比传统的相移干涉仪快5000倍。PhaseCams结构紧凑，重量轻，使重新配置测试设置变得简单和容易，无需振动隔离。PhaseCam激光干涉仪非常适合大直径光学元件的计量、生产车间质量控制、通常受气流湍流阻碍的洁净室应用、远程操作必不可少的环境室以及移动部件（如可变形反射镜、旋转磁盘或振动膜）的模态分析。

通常，基于多棱镜扩束和数字检测，狭缝干涉仪允许透射光学表面的快速干涉测量表征。与传统的逐点非相干显微密度计和逐点非相干显微镜相比，这是一个显著的进步。

通常，基于多棱镜扩束和数字检测，狭缝干涉仪允许透射光学表面的快速干涉测量表征。与传统的逐点非相干显微密度计和逐点非相干显微镜相比，这是一个显著的进步。

通常，基于多棱镜扩束和数字检测，狭缝干涉仪允许透射光学表面的快速干涉测量表征。与传统的逐点非相干显微密度计和逐点非相干显微镜相比，这是一个显著的进步。