Verifire高清干涉仪系统

马赫-曾德干涉仪

Arden Photonics的VFI-1200是一种干涉检测系统，设计用于检查劈开或抛光光纤的表面质量和平整度。它的最大视场为1200μm，具有X1.5、X2、X3和X6数码变焦。该干涉仪具有1/1.8英寸光学格式的64MP CMOS阵列图像传感器、12位ADC和525nm LED.它可以实时测量高达8°（2D）和4°（3D）的解理角，测量时间小于7秒。该干涉仪在2D模式下具有检查和条纹模式，并具有自动/手动端角测量功能，可生成3D端面高度图。它可以通过USB 3.0接口进行控制，该接口也可用作电源。VFI-1200采用台式模块，尺寸为240 X 240 X 90 mm，非常适合用于精密切割器制造、切割器维护、激光制造、医疗设备制造、光纤研发、特种光纤制造、角式切割器的开发和测试、设备线尾、LDF切割器制造/维护、光纤端盖制造和多光纤束制造应用。

波长: 400 to 535 nm探测器类型: Photodiode

Thorlabs公司的SA30-47是一款干涉仪，自由光谱范围（FSR）为1.5 GHz，波长为400至535 nm.有关SA30-47的更多详细信息，请参见下文。

刚性花岗岩塔架，通过四个减震器被动隔振 - 用于无级调节测量工作台的操纵杆，线性滑轨采用无游隙轴承 - 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动 工作台由伺服电机和滚珠丝杠主轴驱动，速度可通过操纵杆调节（无级调节） - 手动微调，使用细牙螺杆，带 高精度滚柱导轨 - 3轴工作台（基本型机床只有Z轴；可选配不同的X-Y轴型号 不同的X-Y轴选项） - 各种干涉仪模块： MarOpto 4", Zygo VeriFire - 用于参考球的4 "卡口接口，与Zygo、Zeiss F-Aplanar等兼容。Zygo、Zeiss F-Aplanar等。

- 优化用于生产 测量支架由花岗岩制成，具有高的精度和刚度 - 不锈钢机器底座。被动式空气减震元件安装在稳定的钢制底座上。 - 3个带花岗岩塔架的被动空气减震元件，具有最高的精度和刚度。 - 弧度滑块，带无间隙预应力摩擦轴承，由伺服电机驱动。带无间隙预应力摩擦轴承的半径滑块，由伺服电机驱动。操纵杆用于变 操纵杆用于变速行走，最大行程1500mm。 - 三轴精密可调工作台（多种X/Y测量选项 三轴精密可调工作台） - 海德汉玻璃光栅尺，测量精度为5微米。海德汉玻璃光栅尺，总行程测量精度为5 µm，用于半径的绝对测量精度、 光栅尺靠近光轴安装（阿贝原理） - 通过激光对中测量半径轴（包括 测量协议） - 创新性地安装当前类型的干涉仪（MAHR MarOpto FI 1100 Z, Zygo 4 通过激光对中测量半径轴，包括测量协议。 英寸和6英寸，Äpre S100/150 HR），包括分析软件。 软件 - 通过镜子系统重新定向半径轴，节省空间 安装方便 - 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 PC 工作站