OWI 150 XT球体和非球体入侵干涉仪

干涉仪是光学生产和质量控制中不可缺少的测量工具。它们用于各种各样的应用。例如，光学表面的平面度和球度检测、半径测量以及光学系统的波前检测。VI系列干涉仪有两种版本：干涉仪VI-Vario和干涉仪VI-Direct。两个版本的不同之处在于仪器中使用的相机类型。干涉仪VI-Vario包含一个模拟摄像机，可连接电视监视器。干涉仪Vi-Direct配有基于USB的数码相机。与模拟摄像机相比，该摄像机具有更高的横向分辨率。它允许干涉图像的三倍数字缩放，因此可以测试较小的部件。另一个优点是降低了对外部干扰（例如振动）的敏感性。

波长: 1060 to 1350 nm探测器类型: Photodiode

Thorlabs Inc的SA30-120是一款干涉仪，自由光谱范围（FSR）为1.5 GHz，波长为1060至1350 nm.有关SA30-120的更多详细信息，请参阅下文。

波长: 400 to 535 nm探测器类型: Photodiode

Thorlabs公司的SA30-47是一款干涉仪，自由光谱范围（FSR）为1.5 GHz，波长为400至535 nm.有关SA30-47的更多详细信息，请参见下文。

- 优化用于生产 测量支架由花岗岩制成，具有高的精度和刚度 - 不锈钢机器底座。被动式空气减震元件安装在稳定的钢制底座上。 - 3个带花岗岩塔架的被动空气减震元件，具有最高的精度和刚度。 - 弧度滑块，带无间隙预应力摩擦轴承，由伺服电机驱动。带无间隙预应力摩擦轴承的半径滑块，由伺服电机驱动。操纵杆用于变 操纵杆用于变速行走，最大行程1500mm。 - 三轴精密可调工作台（多种X/Y测量选项 三轴精密可调工作台） - 海德汉玻璃光栅尺，测量精度为5微米。海德汉玻璃光栅尺，总行程测量精度为5 µm，用于半径的绝对测量精度、 光栅尺靠近光轴安装（阿贝原理） - 通过激光对中测量半径轴（包括 测量协议） - 创新性地安装当前类型的干涉仪（MAHR MarOpto FI 1100 Z, Zygo 4 通过激光对中测量半径轴，包括测量协议。 英寸和6英寸，Äpre S100/150 HR），包括分析软件。 软件 - 通过镜子系统重新定向半径轴，节省空间 安装方便 - 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 包括带集成电气柜和存储系统的移动式 PC 工作站