什么是激光干涉仪(Laser Interferometer)?激光干涉仪的工作原理是什么?
激光干涉仪是采用激光技术和电子控制的干涉仪之一,用于校准滑移量具以及检查机器零件的直线度、平行度和平面度。激光干涉仪是用于激光干涉仪的技术,以高精度测量两个物体之间的距离或物体的形状。它以干涉原理为基础,即当两个波重叠并结合成一个新的波纹时发生的现象。
µPhase® 1000柔性干涉仪传感器概述
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TriOptics GmbH是一家面向国际的公司,总部位于德国。我们专注于镜头、镜头系统和相机模块的光学测量和制造技术。我们的销售遍布全球,在中国、法国、日本和美国设有子公司,在英国、以色列、印度和韩国设有分销商。我们在整个运营过程中都以客户为导向。我们的目标是为客户提供较好的产品和较佳的问题解决方案,这是通过努力工作、决心和专业知识来实现的。
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波长: 1250 to 1350 nm探测器类型: PIN
Thorlabs Inc的INT-MSI-1300是波长为1250至1350 nm的干涉仪。有关INT-MSI-1300的更多详细信息,请参阅下文。
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Thorlabs公司的SA30-73是一款干涉仪,自由光谱范围(FSR)为1.5 GHz,波长为630至824 nm.有关SA30-73的更多详细信息,请参阅下文。
标准设置,干涉仪模块位于花岗岩工作台底部,与Z轴对齐 - 测量球形部件的理想工具。 多种选件使这些测量设备能够适应不同的测量任务。 - 微型光学元件的测量范围可达直径60mm。 - 设计紧凑,可用于生产 安装在减震花岗岩台面上。带4个减震元件的被动减震系统。 全面的模块化系统允许所有轴的配置,在轴承(摩擦或交叉滚柱轴承)和通过滚珠丝杠主轴的工作台驱动(手动或电动)方面,可根据具体应用进行理想的定制。 OptoTech干涉仪模块 检查微型EL-F数字式,带60毫米扩束器 使用高质量的OptoTech 60mm基准球测量微光学元件,测量精度为 λ/20 - 集成数字位置传感器(海德汉线性光栅尺),分辨率为 1µm,用于测量测试半径。
刚性花岗岩底座和被动式空气阻尼器 Z轴配置的高精度半径滑轨 安装在B轴上的反向设计的干涉仪模块 高分辨率旋转轴(B 轴),用于将干涉仪单元垂直于基片表面定位 直接驱动旋转轴(C轴),用于旋转光路中的高孔径球面和平面 OptoTech Inspect Mini EL-F 数字式 2" 菲佐干涉仪模块 设计紧凑,集成 PC 工作站 操作: 传统(手动)或使用μStitch MSI软件进行自动轴控制 OptoTech干涉仪软件 μShape OWI用于自动透镜评估
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