Z-轴压电系统PZ 10

Actionneur Compact Grande-Vitesse Canopen。

M3-L是一个集成了驱动器和闭环控制的微型高分辨率定位系统。它以不到同类定位系统一半的尺寸和四分之一的重量提供0.5微米的分辨率。这款紧凑、功能强大的运动系统可帮助OEM设计人员在广泛的应用中提高性能并减小仪器的尺寸。它是光子学、微波和射频系统精密调谐的理想选择。国防应用包括激光束转向和瞄准，UAV和UGV飞行控制，以及用于生物医学和化学检测和分析的现场便携式系统。医疗应用包括微型手术设备和护理点系统。

PSH 1至PSH 4系列基于压电直接驱动系统。这些系统的构造类似于三脚架配置。PSH 1至PSH 4系统可同时控制所有三个执行器。可实现33µm范围内的Z轴活塞运动。有两种不同的托板尺寸可供选择。“A”型的尺寸为25 X 25mm²。顶板类型“B”，提供38 X 38mm²，主要设计用于1½"镜子。作为选项，集成反馈传感器在闭环控制下提供绝对、可重复的位置测量。

PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。

压电环形致动器由大量接触的陶瓷环组成。基于他们的设计，他们提供了9毫米或14毫米的自由孔径。这使得它们特别适合集成到激光光束线中。环形执行机构有带外壳的RA系列和不带外壳的R系列。R系列执行机构没有预加载。对于动态应用，必须对这些致动器进行预加载。RA系列执行器由机械弹簧进行内部预加载，使其成为动态应用的理想选择。配备应变计传感器的闭环版本也是可用的。