PICA 功率压电执行器 P-010.00P

电机驱动器执行器的行程范围为10 mm、13 mm、25 mm和50 mm（0.375英寸、0.5英寸、1英寸和2英寸），以适应MicroMech™Minimech™和MacroMech™系列的各种微米级驱动平台。10毫米行程单元被小型化，主体直径仅为12.7毫米（0.5英寸）。对于直径为19毫米（0.75英寸）的电动驱动器，较长的行程装置仍然很紧凑。10 mm微型致动器配有不可互换的球形高端。所有其他的都具有可互换的球形或扁平高端，两者都与装置一起提供。每个电机驱动器执行器都需要自己的手动控制装置，这些装置将在以下几页中介绍。电机驱动器执行器系列的尺寸和规格如下所示。

Bei Kimco全罩式音圈致动器（VCA）进一步扩展了半罩式VCA的概念，结合了自对准衬套和轴，但完全捕获了线圈组件以保持其与现场组件同心，增加了内部柔性电路以保护外部移动电线，并且还限制了冲程两端的轴向行程。

眼睛断层扫描以及白内障和屈光手术需要非常精确的激光束聚焦。MPS为一家眼科设备制造商开发了非常高精度的微型透镜致动器。这些执行机构由一个直径为6毫米的微型步进电机、一个预加载的螺杆螺母系统和一个线性导轨组成。该系统的设计方式使其能够补偿轴线对齐的缺陷。较严格的要求是在每次测量之间以1µm的精度找到原始位置。

PZT多层堆叠型致动器用于工业应用。它们由柔性绝缘材料特别屏蔽，保证在较苛刻的要求下具有较高的动态性能。基于其设计，它们非常适合轻松集成到特定的客户系统中。柔性聚合物涂层材料为PZT致动器提供了各种恶劣环境下的可靠保护。与脆性陶瓷绝缘相比，柔性绝缘的优点是寿命更长。这些PZT多层堆叠型致动器已经在纳米计量、半导体、材料科学和扫描应用领域的大量应用中成功工作了超过15年。

PZ 10压电齿轮台提供高达10μm的垂直行程。作为固态现象的结果，分辨率实际上是无限的，低至亚纳米范围。基于柔性铰链的有限元分析设计的驱动系统保证了良好的制导精度，没有寄生运动。PZ 10级的耐用性使其成为工业应用中永久使用的绝佳选择。