QNPHD30L-40单轴、高动态压电纳米定位平台概述
设计特点闭环从10μm到40μm直接驱动驱动可实现快速响应时间和更高的吞吐量过程高精度、无摩擦挠曲引导器件寿命长卓越的定位分辨率和线性度,提供直接计量电容式传感器选项开环和真空版本Aerotech的QNPHD压电纳米定位平台在一个紧凑的高刚度封装中提供了平台和致动器的优势。QNPHDIS具有直接计量、电容式传感器反馈选项、高谐振频率和高负载能力,非常适合各种高速和高精度应用,如扫描探针显微镜、光盘驱动测试或半导体晶片关节。响应速度快,精度高QNPH采用直接驱动驱动设计和优化结构,可实现毫秒级响应和移动-停留时间。在使用有限元分析优化以确保高刚度和长器件寿命的精密挠曲的指导下,QNPHD提供了高动态性能,同时为关键的纳米定位应用保持了出色的几何性能(平直度和角度误差)。高分辨率和定位精度QNPHD具有闭环反馈(-C)选项,采用独特的电容式传感器设计,可实现亚纳米分辨率和单位数纳米线性度误差。电容传感器直接测量定位托架的输出,从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时,QNPHD展示了亚纳米定位分辨率和高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具,如学习控制、谐波消除和命令整形,从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台,并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器,确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。安装灵活性QNPHDIS提供后部和侧面电缆引出选项,以及水平和垂直方向的安装功能。这种灵活性允许用户将载物台定向和包装成较佳布置,而不需要设计各种适配器板和支架,这些适配器板和支架会增加尺寸和设计复杂性。可选的安装板可直接安装到英制或公制光学试验板工作台上。定制设计和真空制备版本可根据要求提供。
QNPHD30L-40单轴、高动态压电纳米定位平台参数
- 运动轴 / Axes Of Motion: : One
- 旅行范围 / Travel Range: : 0.04mm
- 负载能力 / Load Capacity (Horizontal): : 2kg
- 负载能力 / Load Capacity (Vertical): : 10kg
QNPHD30L-40单轴、高动态压电纳米定位平台图片集
QNPHD30L-40单轴、高动态压电纳米定位平台规格书
QNPHD30L-40单轴、高动态压电纳米定位平台厂家介绍
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