高真空电动线性平台X-LRQ150AL-SV2

骏河精机的CAVE-X线性电动平移台非常适合需要良好精度和相对较大行程范围的应用。这些电动平移台在激光光学、光谱学、显微镜和计量应用中特别受欢迎。无论您是在研发或工业环境中工作，还是为您的运动控制应用寻找OEM解决方案，骏河精机都能为您的应用提供合适的解决方案。我们的产品在日本制造，并经过严格的质量控制，以满足客户的需求。

KA系列产品是一组中等尺寸、中等行程的高精度电动工件台。该系列底盘采用高刚性U型结构，确保该系列能够适应重载、高刚性、多维组合的作业环境。可选配不锈钢防尘罩，在实际运行环境中保护载物台的所有内部部件免受颗粒和灰尘的影响，从而确保更好的稳定性、耐用性和长期保持精度的能力。KA系列产品采用精密级滚珠丝杠、线性滑块导轨和高性能联轴器装置。这种设计对于环境相对复杂的精确作战场景具有良好的适应性。外部光栅尺与Zolix控制器MC600或TMC-USB配合使用，以确保1µm闭合循环分辨率。该系列的其他关键规格还与世界上较好的相同或相似。

Suruga Seiki Kreseries电动旋转台非常适合需要良好精度和相对较大范围的应用。这些电动旋转台在激光光学、光谱学、显微镜和计量应用中特别受欢迎。无论您是在研发或工业环境中工作，还是为您的运动控制应用寻找OEM解决方案，骏河精机都能为您的应用提供合适的解决方案。我们的产品在日本制造，并经过严格的质量控制，以满足客户的需求。

设计特点行程范围为100μm至600μm器件寿命长高精度、无摩擦挠曲导向系统卓越的定位分辨率和高达0.007%的线性度，采用直接计量电容式传感器选项与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性开环和真空版本Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑的高刚度封装中提供纳米级性能。各种行程（100μm至600μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准应用的理想解决方案。高品质，紧凑封装QNP压电级由使用有限元分析优化的精密挠性件引导，以确保高刚度和长器件寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装较大限度地降低了级堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。高分辨率和定位精度所有QNP压电级均具有闭环反馈选项，采用独特的电容式传感器设计，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位托架的输出，从而实现卓越的精度和可重复性。超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位平台展示了亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选项提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制、谐波消除和命令整形，从而改善了跟踪误差并加快了步进和稳定时间。使用Aerotech的FlashConfig功能完成自动参数和校准识别。自动识别载物台，并将包括轴校准数据在内的所有操作参数上传到控制器，确保安全、准确和真正的“即插即用”操作。点击此处了解有关我们的控件和软件的更多信息。设计灵活性Aerotech的QNP压电级可提供电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环为需要紧凑尺寸、高动态和亚纳米定位分辨率，但不需要绝对定位精度和可重复性的应用提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪、视觉系统、光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计。可选的安装板可直接安装到英制或公制试验板光学表。QNP系列还包括-L和-Z级，其中公共行程与适配器板安装在一起。所有QNP压电级均可根据要求提供真空制备版本。

Zaber的TSB系列平移平台是滚珠轴承线性平台，行程为28 mm或60 mm。它们与我们的T-NA系列微型线性致动器、T-LA系列微型线性致动器和我们的NA11系列步进线性致动器兼容，可用于XY平台配置。带有手动千分尺测头的版本具有25 mm或50 mm的行程和0.01 mm的分辨率。它们也可以直接安装在XY配置或带有AB90E（英制）角托架或AB90M（公制）角托架的XYZ配置中。